用于微小金属零件制造的电化学加工机床.pdfVIP

用于微小金属零件制造的电化学加工机床# ! ! # # # 唐兴伦 张之敬 周兆英 熊 琼 徐庆新 余少东 （ 清华大学精密仪器与机械学系，北京 $%%%’； ! 北京理工大学机械与车辆工程学院，北京 $%%%$； # 中国铝业股份有限公司贵州分公司碳素厂，贵州贵阳((%%$’ ） 摘 要：介绍了自行研制的用于微小型金属零件加工制造的高频群脉冲电化学精密加工机床。机床主体采 用“! ”型结构，阴极主轴进给系统由交流伺服电动机、谐波减速器、滚珠丝杠等精密部件构成一个半 闭环系统，进给速度分辨率可达 # $ ，实现了阴极主轴的微细进给；另外，配以高频群脉冲电源， ! 获得了微小型金属零件的精密加工。 关键词：电化学加工 微小型制造 !#$% % ’#($%#)*#+’ !+#), -%%’ ./0 , !#$% 1+$(/ !+,23+#(2$,4 )*+, -./012/! ，34*+, 35.6./0! ，3478 359:;./0 ，-7+, =.:/0# ，-8 =./0./# ，?8 @59:A:/0# （ BCD9EFGC/F :H IECJ.K.:/ /KFE2GC/F L MCJ59/.JK ，)K./0529 8/.NCEK.F; ，OC.6./0 $%%%’ ，P4+ ； ! @J5::1 :H MCJ59/.J91 L QC5.J1C R/0./CCE./0 ，OC.6./0 /KF.F2FC :H )CJ5/:1:0; ，OC.6./0 $%%%$ ，P4+ ； #,2.S5:2 OE9/J5 :H *12G./2G P:T ，UFAT ，,2.;9/0 ((%%$’ ，P4+ ） ’()*+,) ：/FE:A2JC 9 DECJ.K.:/ C1CJFE:J5CG.J91 G9J5./C ACNC1:DCA H:E G9/2H9JF2E./0 G.JE: GCF91 D9EF ./ F5.K D9V DCET W PW F;DC J:/H.02E9F.:/ .K 2KCA ./ F5C G9J5./C X:A;T */A F5C G9./ J9F5:AC 9.K HCCA./0 K;KFCG .K J:GD:KCA :H F5C KCEN:G:F:E ，F5C 59EG:/.J ECF9EACE ，F5C X911 KJECY 9/A K: :/ ，F: H:EG 9 591H J1:KCA 1::D J:/FE:1 K;KFCG ，Y5.J5 G9ZCK F5C ECK:12F.:/ :H F5C HCCA./0 KDCCA :H [ \ $G 9/A EC91.SCK F5C G.JE: ] HCCAV ./0 :H F5C J9F5:AC 9.KT 7/ F5C :F5CE 59/A ，A2C F: F5C 2KC :H F5C 5.05 HEC^2C/J; 0E:2D D21KC ，F5C DECJ.V K.:/ G9J5././0 9X:2F F5C G.JE: GCF91 D9EF .K :XF9./CAT -./01*2( ：R1CJFE:J5CG.J91 M9J5././0 ；M.JE: ] G9/2H9JF2E./0 微小型金属零件（%_ \ ‘ ( GG ），要求表面无毛刺、 Zc ，主脉冲频率$ ‘ \% Z4S，调制脉冲频率$%% ‘ $ %%% 光整，否则彼此间的摩擦力将给机构运动造成严重阻 4S ；机床外形尺寸：b%% GG d b%% GG d $ \(\ GG 。关 碍，如钟表机构。所以需要使用专用设备，并且加工制 于高频群脉冲电源可参