MOEMS光栅平动式光调制器的吸合电压分析与实验.pdfVIP

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2017-07-22 发布于上海
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MOEMS光栅平动式光调制器的吸合电压分析与实验

第30卷第7期仪器仪表学报 VoL30No．7 2009年7月 ChineseJournalofScientificInstrument Jul．2009 MOEMS光栅平动式光调制器的吸合电压分析与实验半张智海1，一，匮圈1，张洁1，金珠1，王宁1 (1 重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044； 2重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400044) 理对光进行动态调制，其设计适宜形成二维光调制器阵列。针对GMLM，分析并给出了其准静态下的吸合电压计算公式。考虑到MEMS器件的尺寸效应，对电容的边缘场效应影响不能忽略。文巾对GMI．M器件的边缘场效应影响因子进行了公式推导，并针对GMl。M修正了传统的平行板执行器吸合电压计算公式。实验结果证明，修正后的理论公式可以较好地预测GMLM的吸合电压值，与实际测量值的误差为4．3％。关键词：光栅平动式光调制器；微光机电系统；吸合电压；边缘场效应中图分类号：TN405文献标识码：A 国家标准学科分类代码：460．20 andmeasurementof of Analysis moving pull-involtagegrating based modulatoronMOEMS light jie’，JinZhul，Wang Zhang Nin91 Zhihail，2，匦五至函1，Zhang (J The under KeyLaboratoryforOpto—eletronicTechnologySystemMinistryofEducation， 400044，China ChongqingUniversity，Chongqing 2 National FundamentalScienceMicro／Nano—Deviceand KeyLaboratoryof of SystemTechnology， ChongqingUniversity，Chongqing400044，China；) novel onMOEMSisintroduced．Itcanform2D Abstract：A GratingMovingLightModulator(GMLM)based array modulator．Theand modelofGMLMis of is springparallel—platecapacitance analysed；theequationpull—involtage the fieldeffectinelectrostatic isdeduced． given．Moreover，consideringfringing actuators，animprovedeq