材料磨损机理的超声显微镜研究3-摩擦学学报.PDF

第 19 卷　第 4 期 摩 擦 学 学 报 19, 　 4 V o l N o 1999 年 12 月 TR IBOL O GY D ec, 1999 ( ) 研究论文 294～ 298 材料磨损机 理 的超 声显微镜研 究 彭海涛, 金元生, 杨业元 (清华大学 摩擦学国家重点实验室, 北京　100084) 摘要: 利用超声显微镜(A cou st ic m icro scop e) 观察了大气等离子喷涂A l O 40% ZrO 涂层的 2 3 2 磨损过程, 研究了塑性材料和脆性材料在磨损机理方面的差别, 并通过扫描电子显微镜对其结 果加以验证. 关键词: 超声显微镜; 微裂纹; 缺陷; 磨损机理 中图分类号: T G 115. 2 15. 3 文章标识码: A 　　　文章编号: ( 1999) 摩擦学研究的进展与材料表面分析测试技术的发展紧密相关. 现有的多种表面成像仪 器, 包括光学显微镜(OM ) 、扫描电子显微镜(SEM ) [ 1 ] 及X 射线显微镜等都可以对磨损表面 形貌以及磨损颗粒进行观测, 但是不能提供包括材料亚表层在内的样品的完整信息. 在磨损 过程中, 亚表层发生很大的改变, 使用上述表面成像仪器必须对样品进行剖面分析才能获得 亚表层信息, 这样就可能破坏样品原有的磨损特征. 作为一种有效的观测工具, 超声显微镜 已被广泛地用于材料科学和生物学领域的研究, 如检测材料内部缺陷、考察集成电路板的质 [2 ] 量及研究活细胞的力学性能等 . 它能无损地揭示材料亚表层的结构, 对材料磨损的研究具 [3～ 5 ] 有重要意义 . 本文简要介绍了将超声显微镜用于材料磨损研究方面的初步尝试. 1　试验部分 试验中采用的TH SAM 5 型反射式超声显微镜的频率为 150 M H z, 由声镜系统、高精 密机械扫描装置、信号激励和数据采集处理系统 4 部分组成. 声镜系统包括压电换能器、阻 尼杆和球形声透镜. 高频激励压电换能器产生的超声波在阻尼杆中传播, 被声透镜聚焦, 通 ( ) 过耦合液 水 到达样品表面及内部. 对样品进行水平扫描, 然后采集返回信号即可获得该扫 描区域的声显微像. 1. 1　摩擦磨损试验装置及材料 采用自行研制的 1 型试验机进行摩擦磨损试验. 试块为 2 3 40% 2 ( 以质 GWM J A l O ZrO ) ( # ) ( 量分数计, 下同 涂层 大气等离子喷涂, 基体 45 钢, 厚度 300 m ; 试环为 C r2O 3 5% SiO 2 ) ( # ) + 3% T iO 2 涂层 大气等离子喷涂, 基体 45 钢, 厚度 200 m , 其性能如表 1 所示. 试环和 (