W-AlN 高温太阳光谱选择吸收涂层的结构优化与实验验证.PDF

中国科学: 技术科学 2016 年 第46 卷 第1 期: 46 ~ 53 《中国科学》杂志社 SCIENTIA SINICA Technologica SCIENCE CHINA PRESS 论 文 科学与技术前沿论坛 水利科技前沿与水安全 W-AlN 高温太阳光谱选择吸收涂层的结构优化与 实验验证 ①* ① ① ② ③ 张敏 , 梁卉 , 张志丹 , 索妮 , 李培刚 ① 辽宁师范大学物理与电子技术学院, 大连 116029; ② 大连理工大学材料科学与工程学院, 大连 116085; ③ 浙江理工大学物理系光电材料与器件中心, 杭州 310018 * E-mail: m.zhang@ 收稿日期: 2015-06-10; 接受日期: 2015-08-30; 网络出版日期: 2015-11-18 国家自然科学基金(批准号:、教育部留学回国人员科研启动基金(编号: 教外司留2012 940 号)和辽宁省高等学校优 秀人才支持计划(编号: LJQ2011115)资助项目 摘要 选取W-AlN 金属-介质型选择性吸收涂层为研究对象, 用金属W 作为红外反射层, W-AlN 作为吸收层, AlN 作为减反层, 利用Mathematica 软件对该涂层的金属W 体积分数和吸收层、减反层的厚度等参数进行优化 计算, 优化结果表明: 吸收层中金属 W 的体积分数对涂层的选择吸收性能有直接影响; 与高金属吸收层相比, 低金属吸收层的厚度对涂层选择吸收性能的影响较显著; 低/ 高金属吸收层中金属 W 体积分数的最优值分别为 0.2/0.8, 而最优厚度分别为0.1/0.05 m, 此时涂层的吸收率为0.841, 发射率为0.021; 加入厚度为0.06 m 的AlN 减反层后, 吸收率达到0.920, 发射率为0.022; 加入厚度适当的减反层可以有效提高涂层的吸收率, 同时也会使 发射率随之增加; 增加减反层和低金属吸收层厚度都会使涂层的反射率骤升阈值波长发生红移. 利用磁控溅射 方法在抛光的不锈钢表面制备了 W/W-AlN/AlN 选择吸收涂层, 各层膜厚度和吸收层中金属体积分数都严格遵 循优化结果, 测试所得涂层的反射率曲线、吸收率和发射率均与优化结果符合良好. 关键词 太阳光谱选择吸收涂层, W-AlN, 吸收率, 反射率, 结构优化 [1,2] 1 引言 能集热管的热吸收效率 . 近年来由于复合材料的使用, 使得高温太阳光 高温太阳能选择吸收涂层是太阳能光热转换的 谱选择吸收涂层的性能大幅提高, 其中由红外反射 关键材料. 它对太阳光谱中从紫外到可见再到近红 层、高金属含量吸收层、低金属含量吸收层、减反射 外波段的光波保持高吸收, 而对红外光谱保持高反 层构成的金属-介质型薄膜体系[3]备受关注. 1995 年, 射, 从而实现最大限度地吸收太阳能, 有效提高太阳 黄岩彬等人[4] 利用导纳递推法结合 C 语言程序对 引用格式: 张敏, 梁卉, 张志丹, 等. W-AlN 高温太阳光谱选择吸收涂层的结构优化与实验验证. 中