x射线凸度仪中散射信号的物理模型与解析计算研究 the research on a physical model and an analytical method of scatter signal in x-ray profile gauge.pdfVIP

第32卷第6期 核电子学与探测技术 V01．32No．6 2012年6月 NuclearElec咖nics＆Detection J唧e．2012 Technology X射线凸度仪中散射信号的物理 模型与解析计算研究 文贤飞，尹在哲，苗积臣 (清华大学核能与新能源技术研究院，北京100084) 摘要：在各种凸度检测技术中，射线法能够适应恶劣的生产环境、测量精度高等一些优点使它成为 研究的主流方向…。散射是影响射线法凸度检测精度的一个重要因素，关于散射的研究是该技术研发 的重要环节，也是研究的难点…。通过建立物理模型，使用勰析法进行散射校正，与M鲫teCarlo模拟结 果对比，得到了理想的结果。 关键词：凸度仪；散射；物理模型；解析法；蒙特卡洛方法 中图分类号：TL99文献标志码：A 文章编号：0258JD934(2012)06-0635旬3 在钢铁行业，钢铁的凸度检测是提高生产 光子给凸度的重建造成误差，计算散射大小具 质量的重要方法…。到目前为止，电磁法、振 有很大的实用价值…。散射的种类多，在x射 动法、光学法、声波法、射线法等都已经尝试用 线凸度测量中，康普顿散射占主要部分，而且康 于钢铁的凸度检测，由于生产环境很恶劣，检测 普顿散射以初级散射为主，可以用解析方法直 精度要求高，具有一系列优点的射线法已经成 接计算康普顿散射的大小¨j，再进行重建，可 为凸度检测研究的主流方向¨J。但是在射线 以得到理想的结果。此方法物理过程清晰，易 法凸度检测中，散射是一个不可忽视的因素，是 于计算，且能够接近实际情况。 制约测量精度提高的一个非常重要的因素，因 1 X射线凸度仪中的散射来源的原理 此散射的研究是凸度检测技术研发的重要环 节，同时也是整个技术研发过程中的难点之 单能窄束x射线，穿过一定厚度的物体 一…。目前x光机作为射线源，在X射线凸度 后，其强度变化符合指数衰减规律旧J： 仪系统中，它的射线源是扇形束，连续能谱，不 j=厶e掣。 (1) 满足指数衰减规律，散射是造成此现象的主要 ，o：入射射线的强度，，：穿过被检测物体后 原因…。在宽束射线源的情形下，探测器不但 的射线强度，弘：物体的线吸收系数，戈：物体的厚 接收没有经过相互作用的光子，其经过散射后 度。以上考虑的是理想情况，而在x射线凸度 的光子也有可能进入此探测器，在这种情况下 测量中，所使用的x射线源是扇形束…，散射 是不能够直接使用指数衰减公式的心】。散射 光子仍然可以被其它的探测器接收。康普顿散 射是一个随机过程，可能出现多次散射。实际 情况比理想情况要复杂得多。由这个公式重建 收稿日期：2012一02—2l 物体的凸度，所得到的结果将偏离实际的情 基金项目：国家自然科学基金项目，北京 市科技计划资助项目(08)。 况…。单能宽束x射线穿过物体时，其强度变 作者简介：文贤飞(1987一)，湖南人，清华大学核能化服从以下衰减规律【4】： 与新能源技术研究院硕士生。 J=召厶e叫。