关于相位解调的光纤MEMS压力传感器.pdfVIP

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2017-07-23 发布于安徽
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关于相位解调的光纤MEMS压力传感器.pdf

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·．| VoL 第14卷第2期，··-’，“_功能材料与器件学报 14，No．2 OFFUNCTIONALMATERIALSANDDEVICES 2008年4月 JOURNAL Apr．，2008 文章编号：1007，一4252(2008)02—0472-04 基于相位解调的光纤MEMS压力传感器，，，．．；葛益娴，王鸣，闫海涛，戎华 -，，，(南京师范大学物理科学与技术学院，江苏省光电技术重点实验室，南京210097)+，摘要：提出了一种新的压力传感器，该传感器基于Fabry—Perot腔干涉和相位解调理论测量压力。设计用MEMS技术以及普通的光通讯接插件制作出工艺简单，分辨率高的光纤MEMS压力传感器。阐述了传感器的工作原理，分析了硅膜的厚度对传感器性能的影响以及FP腔的长度对反射光信号的影响。研究了基于相位解调法的傅里叶变换方法，傅里叶解调法受光源强度波动的影响较小，解调精度高。实验结果表明改传感器在[0—3]MPa测量范围内，线性好，灵敏度可达到3． 50 ，- m／MPa(腔长改变／压力)。关键词：光纤传感；F—P干涉；MEMS；相位解调一中图分类号：TN384文献标识码：A AMEMS sensorbasedona demodulationmethod pressure phase GE Hua Yi—xian，WANG Hai—tao，RONG Ming，YAN Labof of Scienceand (JiangsuKey Opto—electronicTechnology，SchoolPhysical Technology， Normal Nanjing University，210097，NanjingChina) novel fiber sensorbasedon and de· Abstract：A Fabry—Perot(FP)interferometer opticalpressure phase are modulationmethodisdescribed．MEMSandthecommoncommunieational techniques components of measurementhasbeen usedtofabricatethesensor．，11le introduced：the