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小波、分形理论在超精密加工表面测量中的应用 陈 东 天津大学机械学院机械制造及其自动化专业2011级硕士生 摘要：本文介绍了小波与分形理论的基本概念和国内外研究现状；简要介绍了小波分析在先进制造技术中的应用以及分形方法对超精密磨削表面形貌的分析方法；给出了小波理论和分形技术的一些应用计算实例；给出了利用小波、分形分析理论对超精密磨削加工表面处理后的一些重要结论。 关键词：表面测量 超精密磨削 小波 分形0 前言* 精密超精密加工技术属于机械制造中的尖端技术，是发展其他高技术的基础和关键，是衡量一个国家制造业水平的重要标志。随着科学技术的发展，对材料性能有了新的要求，新材料中陶瓷材料及其制品以其高硬度、大脆性和低热导率的优良特性得到了科学家和工程师的青睐，因此，21世纪陶瓷材料将形成一新兴产业。为了满足工业界对陶瓷材料高精度，高表面质量和高效率、低成本的要求，各种先进加工手段不断应用在陶瓷材料上，而超精密磨削加工成为其中一个重要的组成部分。与金属材料类似，对于加工后的陶瓷材料学要对其表面质量进行评价。表面形貌不仅与加工过程中的加工方法及工艺参数密切相关，而且其纹理特征在很大程度上决定了零部件的使用性能。因此，准确的测量和合理的评定表面形貌，研究表面几何特性与使用性能的关系，对于提高表面的质量和产品性能具有重要的意义。 随着测量技术及相关技术的不断发展，表面形貌评定方法从单一的二维形貌误差，表面粗糙度的分离评估，逐步发展成为对三维表面功能的综合评估。我国对表面粗糙度及表面参数术语做了规定，即27 个二维参数，分为高度特性参数、间距特性参数和形状特征参数。然而三维表面粗糙度参数仍然没有统一的国际标准和国家标准。目前国际上较为认可的有14个三维评定参数，三维参数按不同的表征特性分为四类，他们是幅度参数、空间参数、综合参数和功能参数。 表面形貌评定的核心在于特征信号的无失真提取和对使用性能的量化评定，先后提出了最小二乘多项式拟合法、滤波法、分形法、Motif法、功能参数集法，并取得了显著成就。在机械工业中，机械零件的表面形貌，不仅对机械系统的摩擦磨损、接触刚度、疲劳强度、配合性质，以及传动精度等机械性能影响很大，而且还与导热、导电及抗腐蚀等物理性能有着密切的关系，从而影响到机械和仪器的工作精度、可靠性及使用寿命等。因此，准确地测量和合理地评定表面形貌，研究表面几何特性与使用性能的关系，对提高加工表面的质量和产品性能具有重要意义，有着重大的经济价值。本文主要介绍滤波法的小波分析方法和分形方法。 1 小波分析的基本理论及应用概况 1.1 什么是小波 小波（wavelet）这一术语，顾名思义，小波就是小区域、长度有限、均值为0的波形。所谓小是指它具有衰减性；而称之为“波”则是指它的波动性，其振幅正负相间的震荡形式。与Fourier变换相比，小波变换是时间(空间)频率的局部化分析，它通过伸缩平移运算对信号(函数)逐步进行多尺度细化，最终达到高频处时间细分，低频处频率细分，能自动适应时频信号分析的要求，从而可聚焦到信号的任意细节，解决了Fourier变换的困难问题，成为继Fourier变换以来上的重大突破。有人把小波变换称为数学显微镜。1.2 小波理论及性质 连续小波变换 具有有限能量的函数f (x)的连续小波变换定义为函数族为积分核的变换，如下式: 其中：称作基本小波或母小波（mother wavelet）函数；a为尺寸因子；b是位移。 改变a值，对函数具有伸展(a1)或伸缩(a1)作用，对于函数的作用正好相反。改变b，则会影响函数围绕b点的分析结果。虽然经过伸缩与平移变换，小波波形仍然与保持自相似。的作用与Gabor变换的作用相类似，但小波变换的窗口函数大小是变化的，分析高频率时，时窗宽度变窄，而频率窗宽度增大，以利于检测快变信号，提高时域高频信号位置的分辨率，分析低频率时，时窗宽度增大，而频率窗宽度变窄，以利于检测缓变信号，提高频域的低频分辨率。 小波离散变换 在实际运用中，通常把伸缩参数a和平移参数b离散化为二进制。二进小波变换可用下式表示： 其中：称为离散小波系数；j表示尺度变量，j =1～J；n表示横轴离散点。 1.3 小波函数的选择和小波分解次数的确定 小波函数的选用是小波分析应用到实际中的一个难点问题及热点问题，目前往往是通过经验或不断的试验来选择小波函数。此外，小波分解次数的确定也是小波算法中的关键问题，如何根据被测表面的实际情况，找到小波分解次数是确定的分解与重构算法能在计算机编程中得以具体实现得关键。一般都将分界频率换算成分界波长，由中的采样间距和分界波长来确定分解次数。 1.3 小波分析的应用 为了从轮廓信号中把我们所关心的粗糙度信号提取出来，我们对轮廓信号进行小波分解，借助MATL