利用不同氧氮流量沉积Ti-ON 复合膜改善304 不锈钢之耐磨耗性 - YOKE.PDF

利用不同氧氮流量沉積 Ti-O-N複合膜改善 304 不銹鋼之耐磨耗性 Improvement on wear resistance of 304 stainless steel via Ti-O-N composite coatings with the different O /N ratio 2 2 * 1 1 2 1 李函霓 林雅惠許正勳 劉洪才 1 2 大同大學材料工程學系研究生 大同大學材料工程學系 教授 摘要 本研究以陰極電弧沉積(Cathodic arc deposotion, CAD)系統，配合使用不同流量N 、O 反應氣體與Ti 靶反 2 2 應披覆TiN 薄膜及Ti-O-N 複合膜於AISI 304 不銹鋼基材上，然後進一步分析各鍍膜結構、組成、性質及進行 AISI 304 不銹鋼鍍膜前後之磨耗試驗，以探討O /N 比值對AISI 304 不銹鋼磨耗行為之影響。 2 2 實驗結果顯示，此Ti-O-N 複合膜結構主要是由TiN 及TiO -Anatase 雙相混合而成，當O /N 比值為1/4 (O ： 2 2 2 2 17 sccm ，N2 ：68 sccm) 時，所獲得的Ti-O-N 複合膜之結構最緻密、表面粗度最小(Rq 值=0.261μm)及附著性最 佳(HF1) 。在磨耗行為方面，AISI 304 不銹鋼之摩擦係數從鍍膜前的0.786 降低至0.4280.555 ，其中O /N 流量 2 2 比為1/4 時，由於其H/E 值最高，故相對地可獲得最低的摩擦係數為0.428 。 關鍵詞 ：AISI 304 不銹鋼、陰極電弧沉積、O2/N2 流量比、Ti-O-N 複合鍍膜 Abstract In this study, the TiN coating and TiON composite coatings were synthesized on AISI 304 stainless steel substrate by cathodic arc deposotion (CAD) system using different flow-rate of N2 and O2 reactive gases and Titanium (99.9 wt%) target. Then the coating morphologies and properties such as roughness, chemical composition, structure, and adhesion were all analyzed. Moreo