射频磁控溅镀法沉积钛酸锌薄膜的显微结构与相变化.PDFVIP

射頻磁控濺鍍法沉積鈦酸鋅薄膜的射頻磁控濺鍍法沉積鈦酸鋅薄膜的顯微顯微 結構與相變化結構與相變化 射頻磁控濺鍍法沉積鈦酸鋅薄膜的射頻磁控濺鍍法沉積鈦酸鋅薄膜的顯微顯微 結構與相變化結構與相變化 1 2 2 1 *黃彥霖 陳柏勳 李英杰 薛富盛 1 2 國立中興大學材料科學與工程學系 國立屏東科技大學材料工程學系 (NSC97-2221-E023-003) ZnTiO3 具有優良的微波介電特性 ，可以做為高頻( 10 GHz)電容器的介電材料 ，薄膜技術更有利於因應超小型 薄膜電容器的發展 。本研究使用ZnTiO 陶瓷燒結體為靶材 ，經由射頻磁控濺鍍系統沉積鈦酸鋅薄膜於SiO /Si 3 2 基板上 ，利用XRD 、SEM 、TEM及 AFM 探討基板溫度於 30 ℃~ 400 ℃、氧氣濃度 0 % ~ 20 %與 600 ℃~ 900 ℃ 退火後的相結構 、微觀結構與表面型態。XRD 分析當基板溫度於400 ℃、氧氣濃度 0 %為非晶質薄膜 、經過700℃~ 800℃退火 2 小時後為單一ZnTiO 結晶相 ，其晶格常數：a = ~ 5.075 Å ，c = ~ 13.85 Å 。退火溫度持續上升至900℃ 3 時， ZnTiO 薄膜會開始分解成Zn TiO 及 TiO (rutile) ，此相變化過程溫度不同於與塊材相圖中之 ZnTiO 會於 945 3 2 4 2 3 ℃完全分解成 Zn TiO 及 TiO (rutile) 。然而，加入氧氣濃度10 %濺鍍後薄膜退火 800 ℃有利於 Zn Ti O 出現 ， 2 4 2 2 3 8 增加至 20 %時則有利 TiO (rutile)形成 。 2 關鍵字 ：鈦酸鋅、薄膜、射頻磁控濺鍍、非晶質、結晶相 1. 前言前言 前言前言