微小球准备技术-repository.dl.itc.u.PDFVIP

i24 第 3章:電子顕微鏡内微細作業システム 第 4章 微小球準備技術 第4章・微小球準備技術 127 本研究の微小球配列プロセスは.まず日的のた学実験の計簡と照らし合わせなが ら{殻小球を選択して入手し，基板上の適切な領域に散布することかり始まる この 過程で必裂な知識や技術を特に微小球準備技術と分領して扱う 本主主ではまずは微小};R製{午後術について!峰Jlrrする.本研究では微小1Rを製作する わけではないが，本研究の目的であるフォトニッヲ憐造物に関する実験を計回lする 上では，制約条件としてどのような微小球が存在しどのようなものは入手が困難 であるかを知っておく必要がある そのために必要な知識を援息する.次にこれを 基板上に分散する手紘一を理論的 実験的に検討し，滴下法が有効であること，その 際には表面の音対日性を考慮した材料の粒子 ・:容。JI;・基;阪の組合せの選択や界爵活性l 向lの使用による分散性の;1#1御が重要であることことを明らかにする 儀後に都合の 良い微小球だけを選び出す方法について，計画している光学実験によってそれぞれ どの程度厳管な選別が求められるかを考察した後，考えられる手i去を整理し， 一部 は実験的に一部は理論的に実現できる分級精度を明らかにするー 4.1 微小球製作技術 4.1.1 微粒子製作技術概論 微粒寸乙を製作する手法としては大きく分けると 2つの方法がある. ーつは大きな 医lまりから小さな粒子を作り出すブレイクダウン法，もう一つは小さな原子レベル の材料を大きくしていく ビルドアップ;去である [254，pp.15-28]. プレイクダウン法は主に数10μm以上の大きさの金属微粒子を製作する場合によ く用いられる 具体的にはアトマイズと粍苛かされる方法で，溶融金属を高速に回転 するディスクヒに打者下したり，高速のガスや液体のジェーy トを夜祭することにより，l 粉砕飛散と急速冷却を行なう方法が多mされる.ところが，この方法による金氏f波 紋イーは]惨状が不鋭則形状であったり，あるいは球に近い形状のものもゴツゴツして いたりして均一なものの入手ーは凶雌である また，このJii去による微位予は大きさ があまり均一でなく，必ず何らかの分級操作カも必姿である.特に微小なものとして はサブμ7nの粒子も見かけるが，その割合は決して高くない.一般論として，大き なかたまりから小さな図まりを作る|努の限度はだいたい 1J.l.7nとされている [255，p. 81].また，数μm以下のものを粉体分級操作によって取り出すことは.それ11f.{:が 現在の粉体仁学上の重要な研究書~flñであり守現)毛に:lllJJf寺できない.高官!支ZE袋汀! のハンダJ;Jは，均ーなl早さのシートをitf:iM立にパンチングで打ち抜いてHIfiに体杭 第4章 ・微小球準備技術 129 128 第4章:微小球準備技術 しく般七fしながら加えるだけで大きさの揃った球状シリカ粒子が加水反応により のわかった円娠を製作し，これをi町民のオイル中で熔融，凝固させることによって j!}られる 粒子の大きさや均一性!i.アルコールの除額やアンモニアの様1吃オ 製作していると言われている.これは形状や精度の点ではアトマイス法よりむ 憂れi Jレトケイ自主エチルの添加量，反応続度などで制御できる この万法により粧子径 ているが. 100μm以との大きさのものしか現在はす三に入らない.