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无尘室介绍及规范无尘室介绍及规范
顯示器實務
無塵室介紹及規範
無塵室介紹及規範
南台科技大學 光電工程系 許進明
2009.09.11 0
1. 無塵室之簡介
無塵室之定義與應用：
利用不發塵建材 、阻塵設施、空調設備與空間設計，將室內空間作溫度、濕度 、氣體流 、氣壓及
微塵粒子之控制 ，而達到特殊應用需求之作業或研究場所，稱之為無塵室或清淨室 (Clean Room)
無塵室除了在IC半導體、光電與TFT-LCD等高科技產業應用之外，生醫科技、食品加工業 、精緻
農業 與航太產業也需利用清淨室場所以達到品管之要求 ，唯所需之無塵室等級不同 。
友達TFT-LCD廠 基因實驗室 食品加工業
國家太空中心
醫療衛生 生物科技 精緻農業
2009.09.11 1
1. 無塵室之簡介
無塵室之規格 潔淨室依等級之不同 ，對一定空間內的微塵粒子最大容許量有一共通規範 ，在國際標準中最
常用的規範有Fed-Std-209E及ISO-14644 ，以Fed-Std-209E的等級規範定義為例 ：
2009.09.11 2
1. 無塵室之簡介
無塵室之規格
NDL/class 10
CIS/class 100
繼開科技/class 10000
2009.09.11 3
1. 無塵室之簡介
無塵室之種類 無塵室依等級的不同而在氣流設計上會有所區別 ，一般可分為垂直層流方式(Class 1~100) 、水
平層流方式(Class 1~1,000) 、亂流方式(Class 1,000~100,000) ，其詳細區分如下表 ：
2009.09.11 4
1. 無塵室之簡介
無塵室之種類
Air flow system
Down flow Cross flow Mixed flow Conventional flow Tunnel clean
Ite
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