原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
奈米深蚀刻系统感应耦合离子电浆
國立成功大學 微奈米科技研究中心 TEL ：（06）2757575轉 31380 FAX ：（06）2080103
National Cheng Kung University Center for Micro/Nano Science Technology
Inductive Coupled Plasma Etching System
奈米深蝕刻系統
感應耦合離子電漿( )
本文件成大微奈米科技中心專有財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉
變成任何其他形式使用。
Document Type Title Document No. Edition Editor Date
SOP EIS-700 ICP 奈米深蝕刻系統SOP 1 沈欣燕 2013/11/18
國立成功大學 微奈米科技研究中心 TEL ：（06）2757575轉 31380 FAX ：（06）2080103
National Cheng Kung University Center for Micro/Nano Science Technology
目錄
I. 設備 3
II. 參考資料3
III. 規格3
IV. Sample種類要求及限制 3
V. 機台及軟體介紹4
1. EIS-700硬體外觀介紹 4
2. User interface 12
VI. 操作流程 13
1. 刷卡取得機台使用權 13
2. 填寫ICP”使用紀錄表 ”及”使用前後檢查表 ” 13
使用前必須確實檢查及記錄，若機台有問題將追究最後一位使用者。( ) 13
3. 蝕刻前之準備 13
4. Loading the specimen 14
5. MFC (MASS FLOW CONTROLLER) POWER ON 18
6. RF POWER ON 19
7. 蝕刻參數設定 19
8. 開始蝕刻 24
9. 蝕 刻完成25
10. Unload the specimen 26
11. RF POWER ON 28
12. 進行 O2 Chamber Cleaning28
13. 關機程序 30
14. 刷卡退出機台使用權 31
15. 確實填寫 ICP”使用紀錄表 ”及”儀器使用檢查表 ”31
VII. 機台故障處理方式32
VIII. 注意事項32
本文件成大微奈米科技中心專有財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉
變成任何其他形式使用。
Document Type Title Document No. Edition Editor Date
文档评论（0）