微细电火花加工装置及其控制技术.pdfVIP

第42卷第 1期 上 海 交 通 大 学 学 报 V0I_42 NO．1 2008年 1月 JOuRNAI OF SHANGHAI JIAOTONG UNIVERSITY Jan．2008 文章编号：1006—2467(2008)01-0078—05 微细电火花加工装置及其控制技术 张 勇 ， 张广玉 ， 王 振龙 ， 李志勇 ● 赵万生 (1．哈尔滨工业大学 机电工程学院，哈尔滨 150001； 2．上海交通大学 机械与动力工程学院，上海 200240) 摘 要：设计开发出了具有四轴三联动的微细电火花加工装置．针对该装置，对微细电极的制作控 制技术、成型加工的伺服控制和微三维结构加_T-过程中电极损耗的补偿控制等进行了深入研究．在 充分分析伺服机构性能的基础上，提出针对不同加工目的采用不同的伺服控制策略，不仅解决了伺 服机构在微位移进给过程中存在的爬行问题，同时也较好地解决了电极制作过程中存在的伺服振 荡问题；对电极损耗的补偿控制技术进行了深入的研究，进而提出了电极损耗的在线补偿策略，该 补偿策略作为微细电火花加工控制系统的一个组成部分，使电极损耗的补偿与微细铣削加工的 CAD／CAM系统分开，大大提高了微细电火花进行三维微结构加工的实用性．实验加工出最小直 径为6 m的微细轴以及最小直径为10 m微细孔，并实现了外径为4 mm、具有24个叶片的微型 涡轮盘以及直径为150 m微小半球的加工． 关键词：微细电火花加工；伺服控制策略；电极损耗补偿；微结构 中图分类号：TG 661 文献标识码：A The Control Technology for Micro—EDM Machine and Its Appl ications ZHANG Yong ， ZHANG Guang—yu ， WANG Zhen—long ， LI Zhi—yong ， ZHAO Wan—sheng。 (1．School of Mechanical Engineering，Harbin Institute of Technology，Harbin 1 5000 1，China； 2．School of Mechanical Engineering，Shanghai Jiaotong University，Shanghai 200240，China) Abstract：A micro—EDM(MEDM)equipment with four axes，three of which perform linkage movement， was developed．The micro electrode fabricating control technology and forming MEDM servo control tech— nology as well as electrode wear compensation control technology were researched．After analyzing the ser— VO mechanism performance，the method of using different control strategy for different machining aim is a— dopted．This method solves not only crawl problem of servo mechanism，but also the servo oscillation problem while fabricating micro electrode．Furthermore，a method of electrode wear compensation on—line was presented，in which the electrode wear compensation strategy is one part of micro—EDM machine con— t