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氧化锌铝奈米柱酸硷感测特性之研究
Nanometer-Scale Technology and Materials Symposium 2013
Changhua, Taiwan, 13, December 2013
氧化鋅鋁奈米柱酸鹼感測特性之研究
江榮隆1 2
* 蔡繐鞠
1*稻江科技暨管理學院行動科技學系
嘉義縣朴子市學府路二段 51號
2中州科技大學工程技術研究所
彰化縣員林鎮山腳路三段二巷六號
摘 要
本研究是利用水熱法來成長氧化鋅摻鋁之奈米柱，首先利用濃度0.0075M的醋酸鋅(Zinc
acetate)旋轉塗佈在矽基板上做不同次數的前處理。再以硝酸鋅(Zinc nitrate)與硝酸鋁(Aluminium
nitrate)以及環六亞甲基四胺(Hexamethylenetetramine) ，以摻雜2%的鋁分別加入去離子水中，進
而調配為成長氧化鋅鋁奈米柱之反應溶液。然後將不同次數前處理的矽基板分別置入於反應溶
液中4小時，並將成長反應溫度設為 120ºC ，以形成氧化鋅鋁/矽之結構。此外，亦藉由場發射電
子顯微鏡觀察奈米柱成長的尺寸大小與表面形貌，然後將氧化鋅鋁奈米柱/矽之結構備製為延伸
式閘極離子感測場效電晶體之感測頭，再利用半導體參數分析儀(Keithley 4200)測量其電流電壓
特性曲線及酸鹼感測趨勢。實驗結果發現，經 12次前處理的奈米柱平均柱徑較細，而以6次前
處理成長之氧化鋅鋁奈米柱進行電流電壓感測特性曲線之量測有較佳的酸鹼感測趨勢，線性度
佳(~1) ，其感測度高達73.96 mV/pH 。
關鍵詞：水熱法、氧化鋅鋁、奈米柱、延伸式閘極離子感測場效電晶體、酸鹼感測
Study of pH Sensing Properties Based on the
Aluminum-Doped Zinc Oxide Nanorods
JUNG-LUNG CHIANG 1*, SUI-CHU TSAI 2
1 * Department of Mobile Technology, Toko University, Chiayi County 61363, Taiwan
2 Graduate School of Engineering Technology, Chung Chou University of Science and Technology, Changhua 51062, Taiwan
ABSTRACT
In this study, the growth of aluminum-doped zinc oxide nanorods by hydrothermal method.
First, the pre-treatment procedures
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