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沸石转轮直燃式系统实验设计之最佳化操作
沸石轉輪直燃式系統實驗設計之最佳化操作
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潘明鈺 黃旭明 石崑林 黃成吉
華邦電子300mm 廠務潔淨室課
1 Mypan@ 2HMHuang1@
3 Klshih@ 4CCHuan@
摘要
本研究之目的在探討 VOCs 揮發性有機廢氣 m3/hr in natural gas consumption rate and a reduction
處理系統減廢節能之最佳化，針對其具沸石轉輪之 of 4.3 kW in electricity power. The improvements are
VOCs 濃縮之直燃式燃燒爐處理系統，進行各項控 28 % and 31 % respectively.
制因子之運轉量測與分析，以作為本研究之基礎， Key Words：VOCs (Volatile organic compounds),
然後藉由DOE（Design of Experiment）實驗設計 TO (Thermal oxidizer)
手法，從各因子之交互作用中找出其相關性，並分 DOE（Design of Experiment）
析出影響較顯著之因子，以找出最適化運轉之建議
參數。 一、前言
最後由Minitab 程式運算得到的最佳參數，分 沸石轉輪直燃式系統，主要是針對製程之揮發
別為脫附溫度200℃、燃燒溫度為 700℃、脫附風 性有機廢氣進行排放處理，以降低有害性廢氣污染
量為4000 m3
/hr，在VOCs 去除效率95 %時，可達 之人體危害及製程良率之影響，本此設備實驗將於
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成瓦斯減量9 m /hr，改善幅度約28 %；用電量則 符合環保空污法規與科學園區排放重量管制下，經
可減量4.3 kW，改善幅度約31 %。 由文獻探討與製程的瞭解，輔以量測收集相關運轉
關鍵詞：揮發性有機物、燃燒爐、實驗計計法 資料來進行研究分析，最後於VOCs 設備之可控參
數調整下，在落實經濟安全與有效運轉之條件，以
ABSTRACT 進行各項參數與組合實驗，同時利用DOE 手法輔
以Minitab 軟體程式協助，以期找出沸石轉輪之最
This work optimizes operating parameters of a
VOCs treatment system for achieving a minimum 佳化操作模式，並降低有機排放對人體建康危害與
energy consumption rate. In the system, a zeolite 環境衝擊，並達成設減廢節能與環保雙贏目標。
rotary wheel is used for increasing the concentration
二、直燃式沸石轉輪VOCs有機處理流程
of VOCs gases before combustion. Experimental
measurements were performed at various controlled 沸石濃縮轉輪的心臟是蜂巢狀轉輪
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