静电危韐与倸制.PDFVIP

靜電危害與防制 一、前言 日常生活中 ，尼龍衣服吸附身體、梳子吸附頭髮、螢光幕吸附灰塵、手摸門把 感到電擊等 ，常遇到靜電造成的困擾。在工業生產中 ，製程設備或產品摩擦產生靜 電，當累積產生靜電放電現象時 ，若周遭為易燃性蒸氣或粉塵則可能被引燃，造成火 災或爆炸等不幸的事故 。亦或電子工業中靜電的放電造成 CMOS 積體電路氧化層損 壞，產品良率下降 ，雖然靜電未放電，但累積在晶圓上的靜電根據布朗定律也比未帶 靜電的晶圓增加 250 倍的粒子吸附能力 ，而造成產品的品質缺陷。 二、靜電危害的產生 一般人導因於對靜電物理特性認知不足 ，而造成錯誤的判斷與見解，認為木頭 是絕緣體 ，在靜電的領域中木頭是導體，同樣的道理，人體也是導體，導因於靜電的 高電壓低電流特性 。人造聚合物廣泛被使用餘各種生產或製造之原料，人造聚合物具 有高絕緣 、高電阻的特性，能蓄積靜電荷很長的依段時間，或者導致導體設備，如容 器、管路 、漏斗、手推車、人體等對地絕緣，而累積大量的靜電荷。同樣的道理高絕 緣的原料 ，如液體、粉體、膜、纖維等，亦會累積大量的靜電荷。工業生產中，靜電 常伴隨管路輸送 、容器中傾出或流入容器中、攪動、混合、噴出、乾燥、粉碎、篩 選、滾輪傳送 、剝離、人員走動等各種作業過程中 ，物質間相互摩擦、傳導或感應而 產生 。 靜電危害的產生 ，可分為兩個方面來探討，第一是靜電放電而引起的火災， 如：塗料製造業在入料過程 ，因靜電放電引燃易燃性蒸氣，造成火災事故，並影響產 能；石化業儲槽因靜電放電引燃易燃性儲存物質造成儲槽大火 ；膠帶製造業在佈膠過 程，因靜電放電引燃易燃性蒸氣 ，造成火災事故。雖然靜電引火源事故種類繁多，但 危害的產生具一定的原理與法則 ，清楚的瞭解靜電危害的根源，有助於提出合適的防 治方法 。第二是靜電累積與放電造成生產品質的不良，如：IC 晶片遭受靜電放電而引 起產品的損害無法正常工作亦或晶片上累積靜電造成塵粒的吸附導致品質破壞 ；印刷 業在印刷過程 ，因靜電累積，造成印刷錯誤影響產能。雖然靜電危害在不同的工業有 著不同的危害形式 ，但基本的原理與法則是固定的。 三、靜電放電 靜 電 放 電 可 概 分 為 火 花 放 電 （ Spark Discharge） 、電 暈 放 電 （ Corona 1 Discharge） 、 刷 狀 放 電 （ Brush Discharge） 、大 量 粉 堆 放 電 （ Bulk Powder Discharge） 、 射 狀 放 電 （ Propagation Brush Discharge） 等 形 式。 不 同 放 電 形 式 的 發 生 ， 與 放 電 的 電 極 ， 如 金 屬 棒 、 人 的 手 指 、 塑 膠 管 壁 、 液 面 、 粉 堆 等 ， 或 者 形 狀 、 材 質 、 距 離 、 阻 抗 、 數 量 有 密 切 的 關 係 ， 不 同 放 電 型 式 所 能 釋 放 的 能 量 而 可 能 造 成 不 同 的 危 害 。 四、靜電危害防制 靜 電 危 害 防 制 方 法 中 ， 接 地 是 最 有 效 且 經 濟 的 方 法 。 蓄 積 在 導 體 上 的 電 荷 ， 會 在 一 次 放 電 中 將 能 量 完 全 釋 放 ， 是 常 見 靜 電 危 害 產 生 的 原 因 ， 防 制 的 方 法 ， 就 是 將 所 有 導 體 連 接 在 一 起 ， 然 後 接 地 ， 並 保 持 低 的 接 地 電 阻 ， 使 導 體 上 的 電 荷 迅 速 向 大 地 散 逸 ， 不 致 引 起 靜 電 放 電 的 危 害 。 導 電 性 6 8 設 備 對 地 電 阻 小 於 10 Ω ， 及 操 作 人 員 對 地 電 阻 小 於 10 Ω ， 就 已 達 到 接 地 的 效 果 ， 在 工 業 生 產 過 程 中 ， 因 為 摩 擦 等 所 能 產 生的 最 大 靜 電 電 流 為 10- 4