高阻水气薄膜封装技术於.PDFVIP

光電產業設備技術專輯 高阻水氣薄膜封裝技術於 OLED 照明之應用 Thin Film Encapsulation with High Water Vapor Resistance for the Application of OLED Lighting 賴識翔 林義鈞 工研院機械所 先進機械技術組 固態光源機械技術部 摘要 預估撓性 OLED 市場規模到 2020 年可達 176 億美元，針對可撓性有機發光二極體(organic light-emitting diode,OLED)元件最關鍵之技術在於低水氣穿透率(water vapor transmission rate, WVTR)的封裝奈米薄膜製程上。工研院機械所提出創新的薄膜封裝製程設備概念，以原 子層沉積技術製作高阻水氣之奈米級薄膜，其製程溫度小於100C ，且薄膜厚度小於100 nm ， -6 2 其水氣穿透率小於5 ×10 g/day/m ，並已成功應用於OLED 元件上。 Abstract The global market size for flexible organic light-emitting diode (OLED) in 2020 is estimated to be approximately 17.6 billion US dollars. The key technology for production of flexible OLED device is encapsulation with low water vapor transmission rate (WVTR) thin films. The innovative concept of using atomic layer thin film encapsulation process was proposed by ITRI/MMSL to deposit nanoscale thin-film encapsulation with high water vapor barrier property. The nanoscale thin-film encapsulation deposited by atomic layer deposition (ALD) system used a process temperature less than 100C 、with thickness of 100 nm, and achieved -6 2 WVTR of 5×10 g/day/m . The ALD encapsulation was also successfully applied in OLED lighting devices. 關鍵詞 有機發光二極體、薄膜封裝、原子層沉積系統 Keywords OLED 、Thin Film Encapsulation 、Atomic Layer Deposition System 前言 發光、廣視角、對比高、反應速度快、結構 輕薄等特性優點，所以在智慧手持式行動 隨著資訊產品的蓬勃發展，個人攜帶 裝置的應用率快速提升，同時也創造顯示 式數位電子產品已是人們日常生活中不可 器產業的一個新夢想。然OLED 元件中的 或缺的一部份，有機發光二極體因具有自 有機半導體材料及金屬電極易受氧氣與水 54 │ │411 期 │ 光電產業設備技術專輯 氣影響而產生劣化，因