自支撑薄膜剥离技术研究.pdfVIP

第42卷第10期 原 子 能 科 学 技 术 Vo1．42，No．10 2008年10月 AtomicEnergyScienceandTechnology Oct．2008 自支撑薄膜剥离技术研究 樊启文，许国基，杜英辉，张 榕 (中国原子能科学研究院 核物理研究所 ，北京 102413) 摘要：白支撑薄膜的制备在核科学研究中至关重要。自支撑薄膜制备技术包括成膜技术和剥离技术。 自支撑薄膜的成膜技术与普通有衬薄膜的相似，区别仅在于对薄膜剥离。本工作对 自支撑薄膜的剥离 技术进行了较为系统的研究，并在实践中比较分析各种脱膜方法及脱膜剂的优缺点。 关键词：白支撑 ；薄膜；剥离；脱膜剂 中图分类号 ：0484．1 文献标志码 ：A 文章编号 ：1000—6931(2008)10—0925—05 ResearchonStrippingTechniquesofSelf-supportingThinFilms FAN Qi—wen，XU Guo—ji，DU Ying—hui，ZHANGRong (ChinaInstituteofAtomicEnergy，P．0．Box275—62，Beijing102413，China) Abstract： Thepreparation ofselsupporting film is important for theresearch of nuclearphysics．Preparativetechniquesofse1f_supportingincludedepositingtechniques andstrippingtechniques．Comparedto supportedthinfilms，itiscriticaltostrip thin film from thesubstrate．Thepapersystematicallystudiesstrippingtechniquesofself- supportingthinfilm，analyzesandcomparesadvantagesanddisadvantagesofallkindsof strippingmethodsandreleasingagentswhichhavesuccessfullyappliedtoprepareself- supportingthinfilms． Keywords：self-supporting；thinfilm ；stripping；releasingagent 自支撑薄膜 ，相对于有衬薄膜而言，是指在 方法与普通有衬薄膜相似 ，区别仅在于对薄膜 使用过程 中无载体支撑的薄膜 ，厚度范 围从几 剥离。在 自支撑薄膜的制备过程中，不 同的制 十纳米到几十微米 。在很多核科学研究中，尤 备方法应配以不 同的脱膜技术 ，不同的脱膜剂 其是在低能核物理 、激光核物理、原子与分子物 对薄膜质量、厚度、表面光洁度和机械强度等性 理、天体核物理和核化学实验 中都需以自支撑 能有显著影响。 薄膜为靶膜、剥离膜、X射线反射镜或 X射线 目前 ，获得 自支撑薄膜的剥离技术主要有 过滤器等。因此，自支撑薄膜的制备成为这些 4种 ：1)化学腐蚀衬底 ，即在可溶性衬底表面 实验成功与否的关键之一。自支撑薄膜除要求 沉积薄膜 ，然后用化学腐蚀 的方法将衬底溶解 ； 能 自支撑外 ，还要求具有无缺陷、均匀、平坦 、纯 2)使用脱膜剂，即在固体抛光表面涂覆或生长 净、大面积、低应力等特性 ，自支撑薄膜的成膜 可溶性脱膜剂 (如甜菜碱、盐类 、洗涤剂等)后 ， 收稿 日期 ：2007—10—08；修回 日期 ：2007一l1—18 作者简介 ：樊启文(198O一