衍射光栅机械刻划成槽的预控试验.pdfVIP

第21卷第7期 光学 精密工程 V01．21No．7 andPrecision 2013年7月 0ptics Engineering Jul．2013 文章编号 1004—924X(2013)07—1666—10 衍射光栅机械刻划成槽的预控试验 张宝庆1*，史国权1，石广丰1，蔡洪彬1，张善文2 (1．长春理工大学机电工程学院，吉林长春130022； 2．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130022) 摘要：由于目前机械刻划衍射光栅加工仍依赖操作者经验，故存在成槽质量差、无法预控等问题。本文结合铝薄膜蒸镀 工艺现状，采用X射线衍射法(XRD)、扫描电子显微镜法(SEM)及纳米压痕实验揭示不同薄膜样本的微观结构与力学 属性，提出了制作衍射光栅的“薄膜分类试刻法”。研究结果表明，光栅刻划过程可近似等效为楔体下压过程，对“低弹性 模量类”薄膜，可采用滑移线场进行解析求解并一次试刻成槽；对“弹塑性类”薄膜，可采用有限元模拟实验进行成槽预 控。该方法可预先对薄膜甄别分类，用不同的计算方法确定不同种类薄膜的工装参数，进而刻划出近乎完美的槽形；同 时减少了试验刻划耗时与浪费，提高了成槽质量与刻划效率；为刻划更加精密的光栅奠定了基础。 关键词：衍射光栅；机械刻划；成槽工艺；预控技术 中图分类号：TN305；0436．1文献标识码：A doi：i0．3788／OPE1666 Pre-controlofmechanical diffractive scratching grating ZHANG Shan—wen2 Bao—qin91。，SHIGuo—quanl，SHIGuang—fen91，CAIHong—binl，ZHANG Mechanicaland Electric (1．Collegeof Engineering，ChangchunUniversityof 130022，China； ScienceTechnology，Changchun Institute Mechanicsand 2．ChangchunofOptics，Fine Physics，Chinese 130022，China) AcademyofSciences，Changchun *Co，-r已spo竹di咒gauthor，E-mail：zbq@cust．edu．cn themechanical Abstract：As ofdiffractionstill onthe of scratching gratingsdependsexperiencesoper— ators，it andcannotbe adiffraction givespoorgroovedquality pre—controlled．Thispaperproposes method：filmclassificationtest methodbasedonanaluminumthinfilm gratingproduction engraving