解耦z轴微机械陀螺的研制.pdfVIP

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2017-07-29 发布于北京
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解耦z轴微机械陀螺的研制.pdf

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V01．19 第19卷第9期光学精密工程 No．9 andPrecision 2011年9月 Optics Engineering Sep．2011 文章编号1004—924X(2011)09—2123-08 解耦z轴微机械陀螺的研制周浩1’弘，苏伟1，刘显学1，唐海林1 (1．中国工程物理研究院电子工程研究所，四川I绵阳621900； 2．中国工程物理研究院北京研究生部，北京100088) 摘要：提出了一种检测模态解耦的2轴微机械陀螺。其检测模态被约束为1自由度振动，可抑制驱动模态的影响，降低不期望的检测模态偏置，并使用双质量结构在降低模态耦合的同时获得了较好的模态频率匹配。为满足驱动和检测模态自由度约束要求，使用了U形支撑梁。采用反应离子深刻蚀工艺制作了高深宽比结构层，获得了较大的验证质量，抑制了器件的机械热噪声，提高了陀螺分辨率。加工的陀螺面积为2 2100 100弘mXflm，厚度为60pm。采用真空封装，获得了较高的机械品质因子。测试结果表明，驱动和检测模态的品质因子分别为2000和1800，机械热噪声为3．76(。)／h ·Hz专。在士200(。)／s的量程内，刻度因子为2lmV／(。)·S_。，非线性度为1．426％FS，1h内测得零偏稳定性为 0．0579(。)／s。关键词：微机械陀螺；机械解耦；反应离子深刻蚀中图分类号：TP212．1文献标识码：A doi：10．3788／OPE2123 of z-axismicromachined Developmentdecoupled gyroscope ZHOU Hai—linl Hn01·弘，SUWeil，LIUXian-xuel，TANG (1．InstituteElectronic of Engineering，ChinaAcademyofEngineeringPhysics，Mianyang621900，China； Graduate Student，China 100088，China) 2．Departmentof AcademyofEngineeringPhysics，Betiing author，E-mail：chinamems@163．corn *Corresponding z—axis Abstract：A micromachinedis sensemodeis decoupled-sense-mode gyroscopepresented．The be one of for from drive restrictedto freedomvibration，whichrestrainstheeffect the only degree modeandreducestheundesiredsensemode doublemassesallowsbothmatchednatural