旋转圆盘空蚀试验中的硅材料破坏过程研究-摩擦学学报.PDF

第 27 卷 　第 4 期 摩 擦 学 学 报 Vo l 27, 　No 4 2007 年 7月 TR IBOLO GY Ju ly, 2007 旋转圆盘空蚀试验中的硅材料破坏过程研究 1 1 1 2 蒋娜娜 , 徐 　臻 , 陈大融 , 李浩群 ( 1. 清华大学 摩擦学国家重点实验室 , 北京 100084; 2. 北京工业大学 机电学院机械设计及理论学科部 , 北京 　100022) 摘要 : 利用自制旋转圆盘空蚀试验装置 , 以流动自来水为介质 ,对磨片 、化抛片 、抛光片和刻蚀片等 4 种硅片进行连续 8 h试验以及对磨片进行连续 14 h跟踪观察试验 ,研究硅材料的微观破坏过程 ,并利用扫描电子显微镜 、触针式表面 形貌仪和原子力显微镜对其表面微观形貌进行分析. 结果表明:经连续 8 h 空蚀试验后 ,磨片原始表面的片状层基本 消失 ,表面破坏程度最严重 ,化抛片次之 ,其表面尖锐的边缘发生了钝化 ,抛光片和刻蚀片的表面变化不大 ;化抛片的 表面粗糙度 R a 值由 227. 79 nm 降至 173. 3 1 nm ,抛光片的 R a 值由 0. 483 nm 增加至 3. 455 nm ,磨片在 14 h 试验后其 μ μ R a 值由 0. 3304 m 降至 0. 1965 m ;一定尺度的表面微观形貌对硅材料产生显著影响. 关键词 : 空蚀 ; 硅片 ; 表面形貌 中国分类号 : TG174. 2; TH 117. 3 文献标识码 : A 文章编号 : (2007) 04 039305 　　在液体流动过程中 ,因局部压强变化 ,液体内部 过程及其影响因素进行研究 ,为进一步揭示空蚀过 或液 固界面的蒸汽或空泡形成 、发展和溃灭的过程 程材料破坏机理提供实验依据. 被称为空化. 当空泡在固体表面附近发生溃灭时 ,所 1　实验部分 产生的微射流或微激波造成固体表面破坏的现象被 定义为空蚀. 空蚀在船舶 、水力机械及水利工程中造 采用 自制旋转圆盘空蚀试验装置进行空蚀试 [ 1 ] 成的危害很大 . 　　　 空蚀程度的影响因素已有较多研究[ 2 ～6 ] ,主要 从宏观力学角度对应用于船舶 、水力机械过流面的 金属类材料和应用于水工建筑物中的混凝土材料的 抗空蚀性能进行分析及相应的材料改性. 由于影响 因素错综复杂 ,至今尚未完全掌握空蚀机理. 部分学 者尝试通过对空蚀试样微区进行跟踪观察分析 ,将 宏观形貌和微观破坏过程相结合 ,用微观机理来解 释宏观现象. 对于金属类材料 , 目前已经从马氏体相 1. M ainfram e, 2. E lectromotor, 3. Container, 4. Hydrom edium , 5. D isk , 变等材料微观组织的空蚀破坏方面展开研究 [ 7～10 ] ; 6. Samp le, 7. R efrigeration controller, 8. W ater pump , 9. F low valve. 对于脆性材料 , 以混凝土材料为代表 ,研究大多趋向 F ig 1　Schem atic diagram of rotating disk test rig 于提