氯分子束与铁表面激光化学反应动力学 - 上海有机化学研究所.pdf

化学学报 A何A OHIMIOA SINIOA 1m, 61, 161-1ðG 氯分子束与铁表面激光化学反应动力学 ι 卢平和 秦启宗骨 (复旦大学激光化学研究室，上海，200433) 本艾采用飞行时间质谱技术测定了在紫外(355nm)，可见(560nm)和近红外(1064nm) 脉冲 3‘ 激光作用下P 氯分子束与 Ti 表面反应产物的质量分布和速度分布.所得结果表明p 不同波长激光诱 导反应的主要产物相同，有 Ti， TiCI, TiC12 , TiCla 和TiC4. 在高能量密度的紫外激光作用下，首 ~测得具有很高动能的原生Ti飞各种含Ti氧化物的飞行时间谱，能满意地用.单组分或多组分 Maxwell-Boltzmann 公式拟合和分析.上述激光诱导气-固表面反应的机理主要由氯分子i在四表 面上的解离吸附P 吸附态氯原子在表面上生成TiCI..(x=l，份的连串反应以及激光诱导脱附所组 成.近红外激光主要引起热脱附，而紫外激光的作用还可能有非热脱附过程. 关键词:飞行时间谱，表面反应，铁，反应动力学. 将金属及其合金作为微电子器件的衬底或连接材料应用很广，因此对金属表面的激光诱 导化学蚀刻反应的研究十分活跃(1J 目前虽然对Al(2,3J , OU(4， 5J 和 AgC句等金属表面激光蚀 在 刻反应已有不少报道.由于铁金属具有优良的导热、导电和抗腐蚀性能，因此对铁表面的化学 蚀刻研究也引起了重视 Loper 等(7J 曾将 NF (193n皿)光解产生的F 原子与 Tí 麦 经激光 s 丽反应，研究了蚀刻速率与激光能量密度之间的关系.最近 Tyndall 等四用石英晶体微量秤 (QOM)研究了 248n皿激光诱导Brl!和 OO}gBr 与铁表面的蚀刻反应，但迄今为止，常用的气 ￥配 分子束与铁表面的 相蚀刻剂。h 与铁表面的蚀刻反应研究尚未见报道. 本文将着重研究01 2 激光化学反应动力学. E 气共振增强多 为了在原子和分子层次上深入研究气-固表面反应动力学，时间分辨质谱 ‘· (REMPI) C10J和激光诱导荧光(1刀等技术都已成功地用于测定反应产物的速度分布 光子电离 和能态分布.我们也曾采用时间分辨质谱测定了激光诱导半导体表面与01 反应的动力