用扫描电镜／波谱仪测量发光器件.pdf

维普资讯 激光与光电子学进展 I998年第 8期 (总第 392期) ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ；装置与元器件： _ _‘ ·_ _‘ ‘蒂 _ ·_ ‘牛 _ ‘_ · 用扫描电镜 ／波谱仪测量发光器件 ／ … 学 … ㈣吲 ． 提 和发光强度的测量 。。 型 莲星·丛 递!兰-颜色·强度 1 半导体发光器件 (或材料)在真空中受电 色 的荧光。光 电流 由sj探测器 4检测后 ，经 子束照射时会激发阴极荧光 (可见光或红外 引出线 6，穿过扫描 电镜镜简筒壁与外接的 光)。在开发新发光材料和研制新型发光器件 光功率计相联，就可直接读出光功率。改变工 时，需要对原材料或器件进行发光颜色的鉴 作条件．光功率也随之变化。 别和发光强度的测量 。 扫描电镜 (SEM)具有空间分辨能力高、 图象立体感强、放大倍数方便可调等特点，这 已为人们所熟知。扫描 电镜与渡谱仪(WDS) 的组合或用电子探针仪(EPMA)可以把试样 的徽区形貌分析和微区成份分析有机地结合 起来，因而在现代显微分析领域中，特别是无 损检测技术中得到了广泛的应用 ]。 我们利用一台配有渡谱仪的扫描 电镜作 图 l 测试装置结构示意图 为 电子束源，自行设计了一套测试装置，能方 l一扫描电镱样品座 {2一铜环支架l3一绝缘垫圈jJ—si 便地对发光器件(或材料)进行形貌、成份、发 探测器；5一绝缘垫圈；6一探剽器 I出线；7—7．被测发 光件r材料或器件) 光颜色以及发光强度 (光功率)的综台测量。 2 测试装置结构和工作原理 3 对发光器件的测量试验 自行设计的测试装置如图 1所示。当入 射 电子束照射到被测发光体 7时，激发有颜 在YAG(Y，AL，Gd)石榴石基片上同质 外延一层YAG薄膜，就成了一只发光器件 。 收稿 日期 ￡1998 0卜00 下面就 以该器件为试样 ，进行多方面的分析 收到恪改蔼 日期rl998 05 衢 测试工作。 。： 维普资讯 激光与光 电子学进展 1998年第 8期(总第 392期) 19 3．1 形貌观察 用本测试方法，可 由外接的光功率计直 图2为一YAG器件表面形貌像。可 以 接读出YAG器件的发光功率。还可考察发 看到，由于基片的缺陷(例如疵点或划痕等) 光功率与电子枪加速 电压、光斑直径、试样工 引起了外延层晶体畸形生长 (金字塔状 的凸 作 电流的依从关系。 疱)，因而用此法可 以判断发光外延层 的质 试验实例之一 ： 量。 实验条件的设定： (1)电子枪加速电压：模拟YAG器件常 规工作电压 ，设定为 25kV； (2)光斑直径：为了