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* * * * * * * * * * * * * * * * * * * 薄膜制备的真空技术基础 * 1.3.1 旋片式机械真空泵★ 工作原理： 依靠安置在偏心转子中的可以滑进滑出的旋片将气体隔离、压缩，然后排出泵体之外。 薄膜制备的真空技术基础 * 理论抽速Sp=转子与定子间的体积V×转速f抽速范围:1~300L/s，极限真空度：10-1 Pa 特点：结构简单、工作可靠 缺点：油污染 工作原理示意图： 单独使用或高真空系统的前级真空 吸气 压缩 排气 薄膜制备的真空技术基础 * 1.3.2 罗茨（Roots）真空泵 工作原理： 泵内两个呈8字型的转子以相反的方向旋转。 优点：无油，抽速大（103 L/s）， 极限真空度高（10-2 Pa） 缺点：适用范围窄（0.1~1000Pa） 薄膜制备的真空技术基础 * 1.3.3 油扩散泵 工作原理： 将油加热至高温蒸发状态(约200℃)，让油蒸气呈多级状向下定向高速喷出时不断撞击气体分子，并将部分动量传给这些气体分子，使其被迫向排气口方向运动，在压缩作用下被排出泵体。 适用范围： 1-10-6 Pa 缺点：油蒸气的回流 （解决方法：冷阱） 薄膜制备的真空技术基础 * 1.3.4 涡轮分子泵★ 工作原理： 高速旋转的叶片（2000-3000r/min）将动量传给气体分子，并使其向