真空计综合介绍.pptVIP

真 空 計;大綱; 單 位 換 算;真空計簡介;真空計之分類;機械式真空計利用(容器內)氣體粒子之熱速度作用於(容器內)受力表面來直接量測壓力之真空計;壓力天平(重錘活塞式壓力計-deadweight pressure gauge);液位壓力計(基於連通管原理);特殊之變形U形管結構;雙槽式壓力計: Schwien原級水壓壓力計 BAT原級壓力計單槽式壓力計: Hass A1大氣壓力計;薄膜式真空計（Diaphragm Manometer）;電容式真空計 ;電容式真空計典型代表:MKS Baratron690A(廣為光電，半導體及航空公司所採用);派藍尼真空計（Pirani Gauge）;Pirani gauge(派藍尼真空計)特色：中級真空範圍(1-10-3Torr)下使用最為廣泛具有一條高電阻溫度係數材料製程的燈絲，適當電流通過時，燈絲溫度可保持在100℃至130℃;定電壓式Pirani Gauge;定電流式Pirani Gauge;  定溫式Pirani Gauge原理：?使燈絲溫度維持不變，再由電壓變化來得知真空壓力變化。? 因為燈絲溫度維持不變，所以經由氣體介質傳導的熱輻射及經由發熱體與支架直接知熱傳導為一定值，且與氣體之真空無關，所以可獲得較佳的解析