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TDX-200透射电子显微镜灯丝像的调节 Modulation technology for the image of TEM filament
己口I己年4月
应用天地 第]I卷第]期
TDX一200透射电子显微镜灯丝像的调节*
董全林1 李 鹏1 冯 迪1 杨彦杰1 崔永俊’ 南 国1 李文萍“2
(1.北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室,国家“惯性技术”重点实验室
精密光机电一体化技术教育部重点实验室,仪器科学与光电工程学院 北京 100191;
2.北京航空航天大学物理科学与核能工程学院 北京 100191)
electron
摘要:透射电子显微镜(transmission
系统主要部件之一,要求电子源必须与镜筒中整个电磁透镜系统严格合轴,否则会造成到达样品的电子束流减少,引入球差
等不良影响。在操作中灯丝像的对称性是判断电子枪是否合轴的重要判据。研究了TDx-200透射电子显微镜灯丝像的调节
过程,给出了透射电子显微镜灯丝像的具体调节步骤,并通过课题室透射电子显微镜TDx_200进行了实际验证。
关键词:透射电子显微镜(TEM);电子源;照明系统合轴;灯丝像
中图分类号:TNl.043文献标识码:A
Modulation forthe ofTEMfiIament
technologyimage
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DongQuanlinl gl Feng YangYanjielYon西unl Wenping‘’2
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(1.KeyLaboratory Measurement-ManipulationPhysics(Ministry
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Technology Laboratory,KeyLaboratory 0pto—mechatronicsTechnology,Ministry
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Opt伊electronics university,Beimg
2.Schoolof andNuclear 100191,China)
Physics EnergyEngineering,BeihangUn沁ersity,B的ing
status,Transmissionelectronic a
Abstract:Inworking microscope(TEM)requiresprecisealignment.Asmajorcompo—
nentofelectronic electronic mustbe w“h 1ens
magneticsys—
microscop
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