超精密运动平台隔振系统性能分析及实验研究.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 科 学 技 术 与 工 程 23? * @2? ! A60? ’’* * ! ’’* ! # % !*( !:!;! ’’ ’ !:’’= :’ ,-./0-/ /-1023245 607 804.0//9.04 - ’’* ,-.? /-1? 80404? 期 黄 欢 等 超精密运动平台隔振系统性能分析与实验研究 ! ! 冶金工业 超精密运动平台隔振系统性能分析与实验研究 ! ! ! ! 黄 欢 郁鼎文 刘向阳 清华大学 精密仪器与机械学系 北京 吉林大学 机械科学与工程学院 长春 # ! !#$ $ ! !% % 摘 要 分析了极微细电火花加工的三维超精密运动平台隔振系统的组成及工作原理 指出了运动平台隔振保障技术是能否 ! 达到微加工精度的重要因素 对一级主动隔振的上平台和二级隔振 采用 软件进行了模态分析和研究 同时采用激振 $ ! ’()*) ! 实验与 分析进行比较 结果表明二者具有较好的一致性 从而得出二级隔振的振动特性 通过实际的隔振效果测试 得 ’()*) ! ! ! 出此二级隔振系统进一步提高了隔振效果 为三维运动平台达到高精度提供了保证 ! 关键词 极微细电火花加工 隔振系统 高精度 模态分析 中图法分类号 +,**!$ 文献标识码 + 在微细和极微细加工领域 国内外许多学者都 系统 控制子系统 监视检测子系统和隔振子系统 ! ’ ’ 对微细电火花加工进行了深入的研究 取得了一定 等 对于隔振系统来说 竖直方向的振动主要影响极 ! ! 的进展#!$ 而对于微细加工 除了驱动和运动进给控 微细电火花加工的稳定性 因为它影响电极与被加 $ ! ! 制与普通机械加工有很大差异外 环境保障技术也 工工件之间的极间距离 水平方向的振动则主要影 ! $ 是影响微细加工精度的重要因素之一 其中包括精 响加