不同衬底温度下PLD法制备的氧化锌薄膜的特性 - 光子学报.PDF

第 卷第 期 光 子 学 报 ３９ ２ 　 　 　 Ｖｏｌ．３９Ｎｏ．２ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２０１０ ２ Ｆｅｂｒｕａｒ２０１０ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ ｙ 文章编号： （ ） １００４４２１３２０１００２０２９６５ 不同衬底温度下ＰＬＤ法制备的氧化锌薄膜的特性  苏雪琼，王丽 ，陈江博，孔乐，刘红梅，张新平 （北京工业大学 应用数理学院，北京 １００１２４） 摘 要：利用 型脉冲激光器 ： 的三次谐波（ ），以蓝宝石 （ ）为衬 ＧＣＲ１７０ ＮｄＹＡＧ ３５５ｎｍ ＡｌＯ ０００１ 　 ２ ３ 底，在不同温度下采用脉冲激光沉积法制备了 薄膜 通过原子力显微镜、 谱、光致发光 ＺｎＯ ． Ｒａｍａｎ 谱、红外透射谱、霍尔效应和表面粗糙度分析仪对制备的 薄膜进行了测试 分析了在不同衬底 ＺｎＯ ． 温度下薄膜的表面形貌、光学特性，同时进行了薄膜结构和厚度的测试 研究表明：衬底温度对 ． ＺｎＯ薄膜的表面形貌、光学特性、结构特性都是重要的工艺参量，尤其在 ５００℃时沉积的ＺｎＯ薄膜 致密均匀，并表现出较强的紫外发射峰． 关键词：脉冲激光沉积法； 薄膜；原子力显微镜； ；光致发光 ＺｎＯ Ｒａｍａｎ 中图分类号： 文献标识码： ： ／ Ｏ４８４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ ｚｘ０２９６ 　　　　 　　　　 ｇ ０ 引言 １ 实验 　 　 在大多数薄膜制备方法中，衬底温度都是一个 采用调 ： 脉冲激光器 （ 型） 犙ＮｄＹＡＧ ＧＣＲ１７０ 重要的沉积参量，对薄膜材料与衬底间的粘附性、原 的３５５ｎｍ激光，重复频率为 １０Ｈｚ，脉宽 １０ｎｓ，激 子表面迁移率、无定性衬底（如玻璃材料）上薄膜的 光输出功率 溅射沉积 薄膜 靶材为多 ４６０ｍＷ ＺｎＯ ．