衍射波前测试方法的研究.pdfVIP

摘 要 衍射光栅是应用在光谱仪器中最重要的元件之一。随着光谱仪器应用领域的 扩展，衍射光栅不仅应用于物质元素的光谱分析，而且在天文学、量子光学、集 成光学、生物学、光通讯、化工以及冶金等领域也得到了广泛应用。同时，随着 科学技术的不断发展，光栅加工也达到了一个崭新的高度。衍射光栅应用领域的 扩展使得制造光栅刻划技术的提高成为目前光栅研究领域的首要任务。光栅面型 复杂化，面积增大，刻线密度的提高等均给光栅的制备带来新的挑战，与此同时 光栅的质量检测就成为不可或缺的重要环节。 对于衍射光栅的检测，测量光栅衍射波面的波象差是评价光栅质量是否合格 的重要环节，对其测量主要有干涉法、全息术法和位相对比法三种方法。通过对 干涉条纹的获取、处理即可得知波前缺陷，从而反映出此光栅的质量水平和加工 上的不足，并得以改进。目前衍射光栅波前检测已应用于在平面光栅的检测中， 而对于凹面光栅的质量检测仅是对其衍射效率进行检测，未应用于其衍射波前进 行检测。 本文在阐述了光栅衍射理论性质基础之上，论述了衍射波前检测在光栅加工 质量评价的重要性，并对凹面衍射光栅波前检测方法进行研究。基于泰曼干涉仪 检测原理搭建实验光路，针对于凹面光栅检测进行相应的改进，成功获得凹面光 栅零级和一级干涉条纹，并用ZEMAX软件对本系统中凹面光栅模拟进行了相关的 像差分析。从而证明了干涉检验针对凹面光栅衍射波前的可行性，为凹面光栅的 加工质量检测提供了依据。 关键词：衍射光栅凹面光栅波前检测泰曼干涉仪波前像差 Abstract usedin Dif仔actionisoneofthemost WhichhaVe grating iInponantcomponents of dimaction instnJIllents．Withme fields， application spectroscopic expallsion havenot been indif．f}action alsobeen 伊atiIlg only applied gratiIlgspec訇rLlm，but usedin 诫dely aStronomy，qua姗optics，irlte伊ated aSthe tlles锄etime a11d a11dotherfields．At commuIlications，chemicalmetallurgy anew difh．actionhasreached and of ofscience grating developmem tecllIlology，craR indi倚action andresearc