以垂直入射方式及移相干涉术测量二维高度分布31引言32.PDFVIP

第三章 以垂直入射方式及移相干涉術測量二維高度分佈 3.1引言 ㄧ般而言，使用單波長移相干涉術來測量物體的高度變化時，大多用來測量 高度變化小於 λ/2[16](λ為波長的物體。當高度變化大於) λ/2時，則無法判斷干 涉條紋的階數，為了測量高度變化較大的物體，我們選擇使用兩較短波長合成一 等效合成波長去測量，此技術就是所謂的雙波長相位移干涉術[17] 。在本章中， 我們將使用單波長移相干涉術測量物體細微的二維高度變化，以及使用雙波長相 位移干涉術測量物體大階高的高度變化，結合此兩種