薄膜测量的变间距不接触三电极技术 Space-Adjustable Non-Contact 3-Electrode Method for Thin Film Measurement.pdfVIP

2007年5月 电工技术学报 V01．22NO．5 OF 2007 第22卷第5期 TRANSACTIONSCHINAELECTROTECHNICALSOCIETY May 薄膜测量的变间距不接触三电极技术 刘 英 曹晓珑 (西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室 西安 710049) 摘要 针对电气绝缘用薄膜材料相对电容率￡，和介质损耗角正切tan8的测量，IEC推荐了 变间距不接触三电极方法。为了配合我国国家标准的制定及推广，自行研制了高精度的空气媒质 变间距不接触三电极系统，其测量电极直径为38mm，保护间隙宽度为o．2mm，满足极薄(厚度 数量级。通过大量试验及理论分析，系统研究了影响测量准确度的关键因素，并将两种不接触电 极方法进行了比较，以供相关技术人员作为实际应用时的借鉴和参考。 关键词：变间距不接触三电极 极薄的薄膜 相对电容率 介质损耗角正切 中图分类号：TM930．12 Non--Contact3-ElectrodeMethodfor Space--Adjustable ThinFilm Measurement Liu Cao Ying Xiaolong (Xi’an Xi’an710049China) JiaotongUniversity AbstractThe non—contact3一electrodemethodisrecommendedIEC space—adjustable by for晶 andtan8measurementof tothenationalstandardtobe insulatingfilms．According pushed，ahigh is inthe developedpaper,and precision，air—medium，space—adjustable，non—contact，3一electrodesystem is38mmin and is0．2mminwidth．Thiselectrodeis the electrode diameterthe measuring guardgap forfilmsthinnerthan itis thatthe errorof canbe er speciallydesigned 301．tm，andproven measuring lessthan5％andtheorderoftandreaches10～．The factorsare keyinfluencing systematically researchedinthis