标准粒子发生器研制 Development of Standard Particle Generator.pdfVIP

2008年9月 洁净与空调技术CC＆AC 第3期 标准粒子发生器研制 中国建筑科学研究院建筑环境与节能研究院巍峥木 摘 要激光尘埃粒子计数器是测试洁净度必不可少的仪器，在洁净行业中有很重要的地位。本文介绍的自主 研制的标准粒子发生器是校准和测试激光尘埃粒子计数器的基准仪器。国内暂时没有同类仪器，国外的仪器昂 贵且维护周期长。本文介绍的仪器通过比较国外多种不同类型的发生器，确定适合我国实际需要的技术路线： 成本低廉，性能满足要求。在通过大量比对试验后，证明本仪器满足实际使用的需要，并且某些性能甚至超过 了国外产品。 关键词激光尘埃粒子计数器。PSL标准粒子；发生器 ofStandardParticleGenerator Development Wei Zheng AbstractLaser counterlS incleanlinesstestandhas incleanroomfield．Thestandard particle necessary importantposition for isthereference calibrationandtestoflaser counter．Thelocalmarkethasnosuch particlegenerator apparatus particle onesale and inmaintenance．newe islowin and foreign expensive developed apparatus．while longcycle generator price orevenbetterin suitableto withvarious actual satisfactory performance，bycomparison foreignones，withrighttechnique demands． Laser standard Keywordsparticlecounter；PSLparticle；Generator 0 引言 响应、计数效率和最大饱和浓度。 上世纪70年代，空调所研制出我国第一台尘 与旧标准相比，新标准报批稿强调了标准粒子 埃粒子计数器和标定仪器所用的PSL标准粒子。 发生器(PSL小球发生器)的作用，是确定仪器计 数效率的稳定的气溶胶源，是确定仪器计数响应电 1985年制订国家标准GB6167．1．85《尘埃粒子计数 器性能试验方法》。洁净测试技术经过多年的发展， 压的信号源。新标准报批稿并对标准粒子发生器提 有了突飞猛进的进步。2007年5月，《尘埃粒子计出了较高的要求，粒子发生浓度稳定、单分散、可 数器性能试验方法》的修订标准正式启用，替代旧 溯源。 标准。新标准与旧标准相比，有了较大的变化，主 在世界范围内，美国、欧洲、日本等发达国家 要包括以下几部分内容： 的净化行业发展历史悠久，对该行业的重视程度高， (1)用PSL和多通道脉冲幅度分析仪 因此这些国家的洁净度测试技术比较先进。国外产 (PHA)获得各粒径档的响应电压；