超声波辅助湿法腐蚀制备多晶Si低反射表面 Reduced Light Reflection of Textured Multi-Crystalline Silicon Via Wet Etchant Using Ultrasound.pdfVIP

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2017-08-03 发布于上海
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超声波辅助湿法腐蚀制备多晶Si低反射表面 Reduced Light Reflection of Textured Multi-Crystalline Silicon Via Wet Etchant Using Ultrasound.pdf

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咿三毯查剥料超声波辅助湿法腐蚀制备多晶Si低反射表面王艺帆，周浪 (南昌大学NCU-LDK太阳能研究中心，南昌330031) 摘要：为降低光在多晶si表面的反射，一种以湿法腐蚀为基础，添加超声波震荡的新方法，首次被用来腐蚀多晶si太阳能电池片。利用扫描电子显微镜观察发现，此法所制备的多晶Si片表面形成了较多窄而深的沟壑状结构。其反射谱测试结果表明，此方法所获得的凹凸表面的减反射效果良好，加权反射率达到3．5％；同时减反射效果对入射光波长选择性不明显。最后，在实验的基础上对腐蚀机理进行了深入的探讨，认为超声波的空泡特性有利于腐蚀的纵向深入，抑制了腐蚀的横向发展，是形成此沟壑状形貌的主要原因。关键词：多晶硅；织构化；湿法腐蚀；超声波中图分类号：TM914．4；TN305．7文献标识码：A ReducedReflectionofTextured Light Multi·Crystalline SiliconViaWetEtchantUltrasound Using WangYifan，ZhouLang Research Solar (NCU-LDKCenterfor 330031，China) Energy，NanchangUniversity，Nanehang newmethodbasedonwet and ultrasoundwas totexturemulti- Abstract：A texturingusing firstlyapplied siliconusedforsolar meansof canbefoundthatmuchnarrowand ravine crystalline cells．Bv SEM，it deep likestructureWasformedonthe siliconwafers．nereflectancecharacteristics．whichtested multi．crystalline reflectance thatthereflectanceofsurface．texturediS3．5％andthereflectanceof by spectrophotometer．show texturedshowed to 0nthebasisof and layer non-apparentselectivityopticalwavelength． experiments Was iSbeneficialto mechanismoftexturizationdiscussed．necavitationcharacteristics，which analysis。the thevertical ofthe as asinhibitedthehorizontal of themaincause it，is relationshiptexturinglong development ofthenarrowand ravinelikestruc