ESD的物理失效分析及放电路径的研究 Research of physical failure analysis and discharge route of ESD.pdfVIP

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2017-08-03 发布于上海
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ESD的物理失效分析及放电路径的研究 Research of physical failure analysis and discharge route of ESD.pdf

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电子测量技术第卷第期 30 3 研究设计年月 ELECTRONIC MEASUREMENT TECHNOLOGY 2007 3 ESD的物理失效分析及放电路径的研究邱亮张之各 ! # 天津大学电子信包工程学院天津 300072 ! 摘要本文将电过力失效机理划分为和分别进行阐述和种失效模式的相似使得对它们 IC EOS ESD EOS ESD2 理的判断变得进的成设备理的重要差别本文通过实失效机困难但借助和等先像可以揭示种失效机先 SEM FIB 2 例分析揭示了种失效机理的差别其中从理论角度突出对失效机理和失效位置的研究然后借助仪器分析的 2 ESD 结果对 ESD失效案例的 ESD放电路径做了合理推断这种通过失效分析推断放电路径的方法对于改善 ESD保护电路性能和提高 ESD防护等级有着重要参考作用关键词 !电过效分析力静电放电失失效机理 PN结退化中图分类号 ! 文献标识码 ! TN956 A h Researchof sicalfailureanalsisanddischarerouteofESD py y g @iuLian Zhan Zhishen g g g Academ ofElectronicInformationEnineerin TianinUniversitTianin300072