FOW在叠层CSP封装中的应用 FOW Die Attach Method Application in Stack CSP Package Assembly.pdfVIP

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第9卷,第1I期 电 子 与 封 装 总979期 vol 9.No.11 2009年11月 ELECTRONICSPACKAGING 封 装 、 纽 装 与 测 试 F S OW在叠层CP封装中的应用 张天刚l,2,毛凌锋2 (1.飞索半导体中国有限公司,江苏苏外I215021;2.苏州I大学电子信息.学院微电子系,江苏苏州215021) 摘 要:随着电子封装微型化、多功能化的发展,三维封装已成为封装技术的主要发展方向,叠 层CSP封装具有封装密度高、互连性能好等特性,是实现三维封装的重要技术。针对超薄芯片 传统叠层CSP封装过程中容易产生圆片翘曲、金线键合过程中容易出现OBOP不良、以及线弧 (wire loop)的CPK值达不到工艺要求等问题,文中简要介绍了芯片减薄方法对圆片翘曲的影响, on 析,FiImWire(FOW)的贴片(DieAttach)方法在解决悬空功能芯片金线键合中的应用,以 及FOW贴片方式对叠层CSP封装流程的简化。采用FOW贴片技术可以达到30%的成本节约, 具有很好的经济效益。 关键词:有限元;芯片;金线键合;FOW;贴片;MCP;CSP 中图分类号:TN305.94文献标识码:A FOWDieAttachMethod inStackCSP Application PackageAssembly ZHANG Tian—gang‘一.MAOLing—fen92 21 502 (1.Spansion(China)Co.,Ltd.,Suzhou1,China;2.DepartmentofMicroelectronics,schoolof 21502 ElectronicsInformation,SooehowUniversity,Suzhou1,China) Abstract:Withthe ofmulti-functionandmini·sized 3D isbecom— demand,the increasing packaging packaging a directionfor stackedscale ingdevelopment packagingtechnology.Aschip package(SCSP)hasmanygood as andbetter isone ofrealiz— density interconnection,itimportanttechnique properties,suchhigherpackaging 3D totraditionalSCSP havesome as resultinwafer issues,such ing packaging.Due assemblyprocess grinding defectoccuronex

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