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第9卷,第1I期 电 子 与 封 装 总979期
vol
9.No.11 2009年11月
ELECTRONICSPACKAGING
封 装 、 纽 装 与 测 试
F S
OW在叠层CP封装中的应用
张天刚l,2,毛凌锋2
(1.飞索半导体中国有限公司,江苏苏外I215021;2.苏州I大学电子信息.学院微电子系,江苏苏州215021)
摘 要:随着电子封装微型化、多功能化的发展,三维封装已成为封装技术的主要发展方向,叠
层CSP封装具有封装密度高、互连性能好等特性,是实现三维封装的重要技术。针对超薄芯片
传统叠层CSP封装过程中容易产生圆片翘曲、金线键合过程中容易出现OBOP不良、以及线弧
(wire
loop)的CPK值达不到工艺要求等问题,文中简要介绍了芯片减薄方法对圆片翘曲的影响,
on
析,FiImWire(FOW)的贴片(DieAttach)方法在解决悬空功能芯片金线键合中的应用,以
及FOW贴片方式对叠层CSP封装流程的简化。采用FOW贴片技术可以达到30%的成本节约,
具有很好的经济效益。
关键词:有限元;芯片;金线键合;FOW;贴片;MCP;CSP
中图分类号:TN305.94文献标识码:A
FOWDieAttachMethod inStackCSP
Application PackageAssembly
ZHANG
Tian—gang‘一.MAOLing—fen92
21 502
(1.Spansion(China)Co.,Ltd.,Suzhou1,China;2.DepartmentofMicroelectronics,schoolof
21502
ElectronicsInformation,SooehowUniversity,Suzhou1,China)
Abstract:Withthe ofmulti-functionandmini·sized 3D isbecom—
demand,the
increasing packaging packaging
a directionfor stackedscale
ingdevelopment packagingtechnology.Aschip package(SCSP)hasmanygood
as andbetter isone ofrealiz—
density interconnection,itimportanttechnique
properties,suchhigherpackaging
3D totraditionalSCSP havesome as resultinwafer
issues,such
ing packaging.Due assemblyprocess grinding
defectoccuronex
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