浸渍式提拉法制备TiO2 薄膜的微观结构和润湿性 - 表面技术.PDF

表面技术 第 46 卷 第 2 期 ·58 · SURFACE TECHNOLOGY 2017 年 2 月 膜层材料与技术 浸渍式提拉法制备 TiO 薄膜的微观结构和润湿性 2 1,2 1 1 王军 ，刘莹 ，胡静茹 （1.南昌大学 机电工程学院，南昌 330031； 2.江西科技师范大学 江西省材料表面工程重点实验室，南昌 330031） 摘 要：目的研究工艺参数与 TiO2 薄膜的微观结构、光学性质及润湿性的关系。方法 以钛酸四丁酯为原 料，乙醇为溶剂，采用溶胶-凝胶浸渍式提拉法，改变工艺参数（提拉次数、提拉速度），在玻璃衬底上制备 了TiO2 薄膜，并通过光学表面形貌仪、紫外可见分光光度计及接触角测试仪分析了不同参数下制备的TiO2 薄膜的微观结构、光学性质和润湿性。结果 提拉次数和提拉速度都会影响薄膜的微观结构，提拉2 次，提 拉速度在3~7 cm/min 之间制备的TiO2 薄膜表面平整、致密。在提拉方向上，存在厚度梯度，厚度梯度为 1 nm/μm 。透射光谱显示TiO2 薄膜在可见光区透明，吸收边与提拉工艺有关，提拉速度为7 cm/min ，提拉2 次制备的TiO2 薄膜，禁带宽度为3.57 eV ，此时，接触角为14.8°。结论 提拉速度、提拉次数影响TiO2 薄 膜的微观结构、光学性质和润湿性。通过提拉工艺参数的调整，可以制备均匀致密、具有亲水性的半导体 TiO2 薄膜。 关键词：溶胶-凝胶；TiO2 薄膜；工艺参数；微观结构；光学性质；润湿性 中图分类号：TG174.444 文献标识码：A 文章编号：1001-3660(2017)02-0058-05 DOI ：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.02.009 Microstructure and Wettability of TiO Thin Films Prepared by Dip 2 Coating Method 1,2 1 1 WANG Jun , LIU Ying , HU Jing-ru (1.School of Mechanical and Electrical Engineering, Nanchang University, Nanchang 330031, China; 2.Jiangxi Key Laboratory of Surface Engineering, Jiangxi Science and Technology Normal University, Nanchang 330031, China) ABSTRACT: The work aims to investigate the relationship between process parameters and microstructure, optical properties, or wettability of TiO thin films. With tetrabutyl titana