用深能级瞬态谱作半导体器件的失效机理分析.PDF

第十七卷 南 京 工 学 院 学 报 ! ! !∀ # 飞 第 一 期 用 能 瞬态 作 导 器件的 效 理 深 级 谱 半 体 失 机 析 张 安 康 电子工程 系 文 , 器 了 摘要 本 利用深能级 态谱 技 术 对 件的失效 理作 析 瞬 扒 探 。 出 ! , 器 , 以 区 讨 指 用 技术 不必将失效 件启封 就可 别是属于体 内 , 面 由 电 器 , 可 以 失效还是表 失效 对于 深能级杂质影响 参数的 件 有效地进 行失效机理 析。 。 关键词 深能级瞬态谱仪 失效机理, , 杂质和缺 陷, 表面失效和体 内失效 一 、 能 瞬态 原理及计 公式仁 口 深 级 谱的 算 深 级是 半导 远 导 顶的 或 。 它的 对 导 的 能 指 体中 离 带底或价带 杂质能级 缺陷能级