硅油基底上受限金属薄膜自组装褶皱的原子力显微镜研究-物理学报.PDF

See discussions, stats, and author profiles for this publication at: /publication/278181787 Atomic force microscopy studies on self- organized wrinkles in constrained metallic films deposited on silicone oil substrates Article in Acta Physica Sinica Chinese Edition · June 2014 DOI: 10.7498/aps.63.116801 CITATION READS 1 21 1 author: Sen Jiang Yu China Jiliang University 69 PUBLICATIONS 304 CITATIONS SEE PROFILE All content following this page was uploaded by Sen Jiang Yu on 04 March 2016. The user has requested enhancement of the downloaded file. 物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 63, No. 11 (2014) 116801 硅油基底上受限金属薄膜自组装褶皱的 原子力显微镜研究 余森江 (同济大学物理科学与工程学院, 上海 200092) (中国计量学院物理系, 杭州 310018) ( 2014 年1 月3 日收到; 2014 年2 月18 日收到修改稿) 利用喷雾装置在清洁载玻片上喷洒出各种尺寸(微米到毫米量级) 的硅油滴, 采用直流磁控溅射方法在硅 油滴上沉积金属铬薄膜, 研究了薄膜中由热应力引起的自组装褶皱. 实验发现硅油滴上的铬薄膜受到油滴边 缘的约束而具有受限的边界条件, 其对褶皱的形貌具有很好的调控作用: 褶皱呈垂直于边界的辐射状条纹; 越靠近约束边界, 褶皱的波长和振幅越小. 褶皱的形貌特征还与薄膜厚度和硅油滴尺寸密切相关. 随着膜厚 的增加, 褶皱在约束边界处首先形成, 并逐渐扩展到油滴中心区域; 相同尺寸油滴中心处的褶皱波长基本不 变, 而振幅随膜厚先增大随后减小. 薄膜厚度相同时, 随着油滴尺寸的增加, 褶皱的波长和振幅都相应增加. 进一步的研究表明: 在沉积过程中, 高能粒子的轰击和溅射源的热辐射导致硅油表面层的结构发生改变而形 成聚合物层, 在此基础上对褶皱的形貌特征和振幅演化给出合理的解释. 关键词: 液体基底, 金属薄膜, 自组装, 约束边界 PACS: 68.55.–a, 68.15.+e, 46.32.+x DOI: 10.7498/aps.63.116801 软基底, 在压应力作用下基底往往与薄膜发生共形 1 引 言 形变, 保持界面的良好结合, 最终形成迷宫状、锯齿 状、直条纹等褶皱46 . 对于液相基底, 由于液体具 自组装现象广泛存在于具有不同尺度的自然 有流动形变的特性, 且其对薄膜的切向约束力非常 体系和人工体系当中, 如宇宙空间的星际物质和星 微弱, 薄膜片可在基底表面自由滑移, 因而此类薄 云, 宏观的地表形貌和颗粒物质, 微观尺度的纳米