试验报告课程名称：光信息综合试验（2012012秋冬）指导老师.DOC

实验报告 课程名称： 光信息综合实验（2011-2012秋冬） 指导老师： 林远芳 成绩：__ __ 实验名称：椭圆偏振法测量透明薄膜的光学常数 实验类型： 综合型 同组学生姓名： 一、实验目的和要求 二、实验内容和原理 三、主要仪器设备、操作方法和实验步骤 四、实验结果记录、数据处理分析 五、思考题 六、实验中遇到的问题，心得体会，意见和建议 一、实验目的和要求 1、了解椭圆偏振测量的基本原理，掌握透明薄膜光学常数测定方法。 2、组装椭圆偏振仪，熟悉椭圆偏振仪使用。 二、实验内容和原理 当一束线偏振光入射到物理性质不同的两种介质的界面上时，入射光平行于入射面分量(P分量)与垂直于入射面分量(S分量)在界面上反射时，其振幅反射系数及反射相变各不相同，因而反射光一般为椭圆偏振光，椭圆偏振光的性质取决于反射光的P，S分量的振幅比和相位差，即与界面的反射特性有关。 对于单层透明薄膜，当光线以θO角入射到薄膜表面时(图2-72)，反射光的P，S分量的振幅反射系数为 ， 上面各变量由斯涅耳定律相联系：，其中，，分别表示入射介质、透明薄膜及基底的折射率。δ则表示薄膜的上、下表面反射光之间的位相差 同时，我们定义反射系数比为薄膜的椭圆函数: 通常记为： 故反射系数的测量归结为椭圆参量的，测量。另外，由的关系式，可知 （用振幅和相位表示各分量的复振幅） 由上式看出，为了测量，，应分别测量入射光中两分量的振幅比和位相差以及反射光中两分量的振幅比和位相差，如果设法使入射光成为等幅椭偏光(即)，则上式简化为： 或写成： 由上式看出，对于确定的Ψ，Δ而言，如果能使入射光矢量两偏振分量间的相位差连续可调，则有可能补偿薄膜上反射相变，使反射光成为线偏光，即αp’-αs’=π或0，这样只要测量出｜A1p’/A1s’｜ 及αp-αs就可以得出Ψ，Δ。 由上面讨论可知，椭偏法的要点是获得连续可调的等幅椭圆入射光；其次对不同样品，在入射光中能引进连续可调的αp-αs值，用以补偿薄膜表面反射时引起的相位变化，使反射光成为线偏光并可由检偏器检测。当1/4波片的快慢轴取±45°方位时，可以使得入射在薄膜上的椭圆偏振光的P，S振幅相等，这时Ψ将表示反射时薄膜表面反射前后P，S分量间的相对振幅变化，Δ则表示反射时P，S分量间引起的相位变化。Ψ，Δ参量则直接反映了反射前后光偏振态的变化。由 rp-rs表达式可知，（Δ，Ψ）是（n0，n1，n2; d1，θ0，λ）的函数，在已知n0，n2，θ2，λ的情况下，测得（Δ，Ψ）即可求得薄膜的（n1，d1） 。这就是椭圆偏振法测量薄膜光学常数的原理。 三、主要仪器设备、操作方法和实验步骤 由JJY型1’分光仪改装而成，改装后的PQSA型椭圆偏振仪装置俯视图如图2-76所示。 1．分光仪调整 用自准直法使分光仪工作台转轴与望远镜及平行光管轴垂直 2．椭圆偏振仪的调节 (1)取下分光仪的自准直系统、物镜和狭缝装置，打开激光器。 (2)调整激光器，使之与平行光管和望远镜轴线同轴，使激光亮点在小孔插筒和消光器中心。 (3)检偏器A定标：将检偏器分度头装在望远镜的物镜处，使激光束垂直透过检偏器中心小孔，将黑色玻璃放在工作台上，使检偏器读数对准90o，改变入射角，在布儒斯特角附近，转动整个检偏器读数头，可得一消光位置，此时检偏器的透光轴平行于x轴，即在入射面内。 (4)起偏器P和1／4波片定标：取走黑色玻璃，使平行光管与望远镜平行，在平行光管上装上起偏器和1／4波片联合读数头，先将1／4波片红点对准0o，再使起偏器透光轴与0o大致对准，保持检偏器读数不变，旋转起偏器使消光，此时起偏器透光轴与y轴平行，记下读数完成起偏器定标。若旋转起偏器无法完全消光，则保持使光点最暗的起偏器读数不变，接着旋转1／4波片，使完全消光或达到最暗，此时1／4波片快轴与x轴或与y轴垂直，记下此时1／4波片的位置读数，完成1／4波片的定标。 3．测定透明薄膜的光学常数 (1)将待测样品放在工作台上，旋转1／4波片使其快轴在第2步定标值基础上转过135o，调整入射角为70o，样品应置于平台中心。 (2)粗调起偏器，从检偏器附近的观察窗中目视观察光点逐渐变暗，若旋转起偏器一周发现无法完全消光，则保持使光点最暗的起偏器读数不变，接着微调检偏器，使完全消光或达到最暗，此时反射光被补偿成线偏振光，记下此时的起偏器P、检偏器A的读数。 原则上，如上所述取得一组起偏器读数P、检偏器读数A后，就可根据1/4波片快轴所处方位角?和检偏器转角A所处象限的具体情况来求出对应的一组Ψ、Δ。但为了尽量减少系统误差，即波片相位延迟角偏离9