MSM结构平面及掩埋叉指电极间电场的分布特性 Electric Field Distribution between Recessed and Un-recessed Interdigital Electrodes of MSM Structures.pdfVIP

SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS Vol. 27 No. 4 Aug. 2006 弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓弓 材料、结构及工艺 MSM 结构平面及掩埋叉指电极间电场的分布特性 1 1，2 1 任丙振 ，苑进社 ，陈光德 （1. 西安交通大学 应用物理系，陕西 西安710049 ；2. 西安理工大学 应用物理系，陕西 西安710048 ） 摘 要： 提出了一种新型具有掩埋电极的金属-半导体-金属（MSM ）探测器原型器件结构，并 用数值计算的方法研究了其激活层内电场的分布特性，讨论了掩埋电极深度对电场分布的影响，并 与传统平面叉指电极结构进行比较，得出该结构对器件性能改善具有重要的作用。 关键词： 金属-半导体-金属；叉指电极；电场分布；优化设计 中图分类号：TN302 文献标识码：A 文章编号：100 1 - 5868（2006 ）04 - 04 16 - 03 Electric Field Distribution between Recessed and Un-recessed Interdigital Electrodes of MSM Structures REN Bing-zhen1 ，YUAN Jin-she1，2 ，CHEN Guang-de1 （1. Department of Applied Physics ，Xi ’an Jiaotong University ，Xi ’an 710049 ，CHN ； 2. Department of Applied Physics ，Xi an University of Technology ，Xi an 710048 ，CHN ） Abstract ： A new type metaI-semiconductor-metaI （MSM ）detector with recessed interdigitaI eIectrodes is proposed. The eIectric fieId distribution in active Iayer is simuIated using numericaI methods. The effect of depth of the eIectrodes is anaIyzed through computer simuIation. The dissimiIarity of the MSM detectors with and without recessed interdigitaI eIectrodes is discussed. The resuIts are significant in improving the performances of MSM photodetectors and optimizing the design of the structure. Key words ： MSM ；interdigitaI eIectrodes ；eIectric fieId distribution ；optimum design 1 引言 的电场分布及结构参数。可见设计新型MSM 结构， 并研究其激活层内电场分布具有重要的应用价值。 ［1］ 自从197 1 年S. M. Sze 等人 第一次提出MSM 史常忻等［4 ］已系统地研究了平面型叉指电极间的 结构并深入讨论其暗态!# 特性后，由于其结构简 电场分布。本文提出了一种具有掩埋电极的MSM 单、工