Si薄膜介电函数的椭偏光谱分析 Analysis of Dielectric Function of Silicon Films with Spectroscopic Ellipsometry.pdfVIP

SEMICONDUCTOROPTOELECTRONICSV01．29No．2 Apt．2008 Si薄膜介电函数的椭偏光谱分析 杨定宇，蒋孟衡 (成都信息工程学院光电技术系．四川成都610225) 摘要： 椭圆偏振光谱法(简称椭偏法)是一种常见的薄膜光学参数测试方法，具有灵敏度 高、测试精度高且对测试样品无损伤等优点。首先系统介绍了有效介质近似(EMA)理论模型的基 本原理，在此基础上，采用EMA模型对制备的Si薄膜样品的椭偏光谱测试结果进行了计算机拟 舍。结果表明，当设定样品结构为多晶、非晶和孔隙的混合物时，计算结果与测试数据完全吻合，由 … 此得到了样品的微观结构信息。 … 关键词：椭偏光谱法l有效介质近似；Si薄膜；拟合 中图分类号：TN304．07 ofDielectricFunctionofSiliconFilmswith Analysis