SiN薄膜三阶非线性增强的研究 Study on the Third-Order Nonlinear Enhancement of SiN Films.pdfVIP

櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶 ： ｄｏｉ １０３９６９／ ｊｉｓｓｎ１００３３５３ｘ２００９０５００６ ＳｉＮ薄膜三阶非线性增强的研究 ， １ １ ３ １ １ １ 宋江婷，郭亨群，王加贤，吴志军，王国立， １ ２ ２ ３ 沈海波徐骏陈坤基王启明 ， ， ， （ 华侨大学信息科学与工程学院，福建泉州 ； 南京大学物理学系，南京 ； １． ３６２０２１ ２． ２１００９３ 中国科学院半导体研究所，集