SooPAT一种用于半导体制造的激光退火.PDFVIP

SooPAT 一种用于半导体制造的激光退火 设备及退火工艺 申请号：200810241107.X 申请日：2008-12-30 申请(专利权)人清华大学 地址 100084北京市100084-82信箱 发明(设计)人严利人 周卫 刘朋 刘志弘 窦维治 主分类号 H01L21/00(2006.01)I 分类号 H01L21/00(2006.01)I 公开(公告)号101459057 公开(公告)日2009-06-17 专利代理机构 北京众合诚成知识产权代理有限公司 代理人 史双元 注：本页蓝色字体部分可点击查询相关专利