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采用静电除去还原尾气中细微颗粒建议
采用静电除去还原尾气中细微颗粒的建议
申迪
目前还原尾气尤其是C2中带有许多的粉尘(主要是Si),经过CDI冷凝后进入液相SL中,物料和设备受到污染,换热器换热效果变差,屏蔽泵使用寿命变短等。由于颗粒直径较小,很难用普通的过滤 沉降等方法除去。如果借助外力(电场力)捕集小的粒子,使尘粒荷电并在电场力的作用下沉积在集尘极上后统一处理,将在很大程度上改善产品质量,降低生产成本。
采用静电除去还原尾气中细微颗粒的优点:
1.除尘器或过滤器对于细微粒子(dp 5μm)效率低,借助外力(电场力等)捕集更小的粒子
2.使尘粒荷电并在电场力的作用下沉积在集尘极上
3.分离力直接作用在粒子上,而不是作用在整个气流上
4.耗能小、气流阻力小
5.不排除HCl 在强烈电场刺激下与Si反应或者其他有利反应
6. 压力损失小,处理气量大,对细粉尘有很高的捕集效率,可高于99%,可在高温或强腐蚀性气体下操作等
电除尘的工作原理(三个基本过程):示意图如下
1.悬浮粒子荷电-高压直流电晕
2.带电粒子在电场内迁移和捕集-延续的电晕电场(单区电除尘器)或光滑的不放电的电极之间的纯静电场(双区电除尘器)
3.捕集物从集尘表面上清除-振打或反吹除去接地电极上的粉尘层并使其落入灰斗
从尾气的平均流速(以8000m3/h和尾气总管直径算),颗粒的大小 电阻率 以及浓度(粗略估算),温度和尾气组份,原理上是可以用静电除尘的方法取出粉尘的。现在电除尘技术和提供相应设备的厂家已经相当成熟,但是用在多晶硅生产中的目前没有,这应该是一很大的公关项目。
2012-11-05
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