讲义第二力传感器.pptVIP

4）任意方向的压阻系数 1、2、3 为主轴方向 R 为任意方向晶体电阻条即纵向 Q 为晶体电阻条横方向 I 为通过电阻条的电流 定义：πa、πt 为纵向（P方向）和横向(Q方向）压阻系数 Πa=π11-2(π11-π12-π44)(l1m1+m1n1+m1l1) Πt= π11+(π11-π12-π44)(l1l2+m1m2+n1n2) l1、m1、n1 为P方向 在标准立方晶格坐标系中的方向余弦 l2、m2、n2 为Q方向 在标准立方晶格坐标系中的方向余弦 由公式 ΔR/R =πaTa+πtTt 可以计算任意方向的压组效应 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 例：（110）晶面内的[110]晶向的纵向应用图 5）X型硅压力传感器 对于硅材料 P型硅 N型硅 -6.6 -102.2 -1.1 53.4 133.1 -13.6 的单位： 或 （1dyn＝ ） 可见：N型比P型的 和 大 P型比N型的 大很多 如果：利用P型 可以获得较大的压电效应，上述可用的 在三个方向上都存在。 考虑公式： 选取电流方向 令 则： 注意：电流方向脚标是2，而由压阻形成电流方向脚标为1 即： 1.电流方向和电场方向垂直 感受的是受剪切力时的压阻系数 时剪切力的分量表示 T12 可见： 在切向力的作用下，只要 分量存在，就在X方向上产生 如图所示 Y X a 第二节 电感式传感器 电感式传感器是利用电磁感应原理，将被测量 的变化转换为线圈自感系数 L 或互感系数 M 变化的 装置。 特点：结构简单 可靠 寿命长 灵敏度和分辨率高 线性度、重复性好 不适于高频动态测量 一 自感式传感器 如果：磁路截面积均匀、场均匀 则： * 1 气隙型自感传感器 * 1 气隙型自感传感器（续） 2 螺管型自感传感器 μr 线圈平均半径r 磁芯半径rc l lc L,N * （1） 螺管型 * 为了提高灵敏度Ks,考虑如右图放置衔铁: （2） 螺管差动型 当衔铁向左移动 ：线圈 电感增加 线圈 电感减小 差动输出时： 可见灵敏度提高一倍。 设 为总等效电阻 考虑并联电路 令 ， 当 时 3 电感线圈等效电路 4 测量电路 1）交流电桥 是电感传感器的主要测量电路 设：L1= L2 = L3 RS1= RS= RS3 R1 = R2 = R ∴ Z1 = Z2 = Z = RS + jwL 工作时， Z1 = Z + △Z Z2 = Z - △Z USC= [ ( + ) + j ( - ) ] Q = 为品质因数 可见：USC中 j 项与前项正交 消除正交项办法： = 或 0，即Q很大，由于 很小，难于实现。 二 差动变压器 初极线圈 1 原理 a 如果 2 误差分析 激励电压幅值及频率波动 温度影响 零点残余电压 当