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大气压等离子体炬电子密度的光谱诊断鄢-物理学报
物理学报摇 粤糟贼葬孕澡赠泽援杂蚤灶援摇 灾燥造援远园袁晕燥援源 渊圆园员员冤摇 园源缘圆园圆
大气压等离子体炬电子密度的光谱诊断鄢
董丽芳 摇 刘为远摇 杨玉杰摇 王摇 帅摇 嵇亚飞覮
渊河北大学物理科学与技术学院袁保定摇 园苑员园园圆冤
渊圆园员园年缘月员猿 日收到曰圆园员园年远月源 日收到修改稿冤
摇 摇 利用空心针鄄板放电装置产生了大气压等离子体炬袁采用光谱法测量了其内部及表面的电子密度援 向空心针中
通入氩气袁在大气环境中产生了长度为员糟皂的等离子体炬援实验分别测量了匀琢谱线和粤则玉渊远怨远郾缘源灶皂冤谱线袁通
过反卷积方法分离出其相应的杂贼葬则噪展宽袁并由此计算了电子密度援结果发现袁采用 谱线和粤则玉渊远怨远郾缘源灶皂冤谱
匀琢
线杂贼葬则噪展宽计算得到的等离子体的电子密度分别为员郾园伊员园员缘 原猿 员缘 原猿
糟皂 和猿郾苑愿伊员园 糟皂 援考虑到 谱线源于等离
匀琢
子体炬表层与周围大气接触时产生的大气中水分子的离解激发袁 线杂贼葬则噪展宽计算得到的电子密度应为等离子
匀琢
体表层处的电子密度袁而根据粤则玉渊远怨远郾缘源灶皂冤谱线的杂贼葬则噪展宽得到的电子密度是等离子体内部的电子密度援
关键词院等离子体炬袁电子密度袁气体温度袁杂贼葬则噪展宽
孕粤悦杂院缘圆援圆缘援韵泽袁缘圆援苑缘援匀灶
发生一些变化袁因而已不再是原位无干扰测量援 因
员郾 引 言 此袁如何采用等离子体中自身的非 匀谱线的 杂贼葬则噪
展宽测量其电子密度袁成为近年来等离子体光谱诊
随着等离子体应用的逐渐深入袁人们愈来愈重 断中的热点课题援
视等离子体参量的测量咱员要愿暂援 电子密度是等离子体 本工作利用空心针鄄板放电装置产生大气压等
的一个重要参量袁这是因为所有的物理尧化学过程 离子体炬袁采用光谱法测量了其内部及表面的电子
渊包括激发尧离化和化学反应冤都与电子密度直接相 密度援在不外加匀圆 袁碳氢气体或其他气体的情况下袁
关援 目前袁电子密度的诊断方法主要有探针法咱怨暂尧微 分别利用匀琢 和粤则玉渊远怨远郾缘源灶皂冤谱线的 杂贼葬则噪 展
咱员园暂 咱员员暂
波法 尧激光诊断 栽澡燥皂泽燥灶 散射法 和发射光谱 宽袁测量了空心针鄄板放电装置产生的等离子体炬表
法咱员圆要员苑暂援发射光谱法因其是一种响应速度快尧无干 层及内部的电子密度援
扰的原位测量法袁成为等离子体诊断中应用最广泛
的一种援其原理是发光原子与等离子体中的带电粒
子相互作用产生杂贼葬则噪展宽袁而杂贼葬则噪展宽与电子密
度有关援杂贼葬则噪 展宽测量电子密度袁分为 匀 谱线的
杂贼葬则噪展宽法和非匀谱线的杂贼葬则噪展宽法援非匀 谱线
的杂贼葬则噪展宽法在激光等离子体电子密度诊断中较
为多见咱员愿暂援 在以往的低温等离子体电子密度诊断
中袁对于非匀等离子体袁人们通常在放电气体中加
入少量的 匀圆 或碳氢气体袁使其离解并激发产生 匀
谱线袁然后利用匀谱线的杂贼葬则噪展宽计算电子密度援
如在等离子体射流中袁将少量匀 或悦 匀 加入到粤则
圆 圆 圆
中袁用匀茁谱线的 杂贼葬则噪展宽计算电子密度咱员怨袁圆园暂援但
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