真空工程技术及其应用研讨会邀请函 - 昆山科技大学.pdf

九十四年度教育部辦理技專校院教師在職進修活動 真空工程技術及其應用研討會 邀請函 真空技術對高科技產業的發展佔有舉足輕重的地位，舉凡材料科技的應 用、資訊工業(光碟,磁碟) 、半導體(單晶,多晶矽,三-五和二-六族化合物) 、顯示 器產業、微機電、金屬工業乃至生化科技應用如食品、製藥工業等。都要有真空 技術作為產業技術的後盾，而在分析儀器上如電子顯微鏡,質譜儀、及高能加速 器等都需要有一優良的真空環境，由此可知真空技術之重要性。鍍膜技術是真空 技術的延伸，其應用非常廣泛，在半導體工業及平面顯示器產業，都需要鍍膜技 術做為各種薄膜材料成長的基礎。本研討會為真空工程技術及其應用的研討範疇 將包含真空之物理基本概念、真空元件工作原理分析、真空幫浦之最新發展，而 在其應用方面之研討將包含MOCVD薄膜成長技術及光電元件應用、真空電漿處理 技術、連續式濺鍍設備技術與產業應用，可提供國內從事真空工程與鍍膜技術相 關研究發展工作的產學人士交流的機會。 本研討會謹訂於本（94）年9月29日於崑山科技大學工程一館六樓舉行， 屆時誠摰邀請蒞臨。 順頌 時祺 崑山科技大學 電機工程系 敬邀 九十四年度教育部辦理技專校院教師在職進修活動 真空工程技術及其應用研討會 一、 研討會時間：94年9月29日(星期四) (9:00~16:30) 二、 地點:崑山科技大學 電機工程系 視廳教室(工程一館六樓) 三、 指導單位：教育部 主辦單位：崑山科技大學 電機工程系 四、主講人： 張慎周 博士：崑山科技大學 電機工程系 助理教授 張守進教授：成功大學 電機工程系 教授 陳瑜堯經理：台灣應薄設備公司 製造經理 洪昭南 教授：成功大學 化學工程系 教授 五、 費用：免費 六、 邀請對象：對真空工程與其應用有興趣之技專院校師生 議 程 表 時 間 講 題 主講人 主持人 08:30~09:00 報 到 09:00~09:10 來賓致詞 張永昌 博士 09:10~10:30 真空工程技術原理與應用 張慎周 博士 張永昌 博士 10:30~10:50 Break 10:50~12:10 MOCVD薄膜成長技術及光電元件應用張守進 教授 李道聖 博士 12:10~13:30 午餐時間 13:30~14:50 連續式濺鍍設備技術與產業應用 陳瑜堯 經理 林天財 博士 14:50~15:10 Break 15:10~16:30 電漿處理技術及其應用 洪昭南 教授 張慎周 博士 16:30~ 結束 九十四年度教育部辦理技專校院教師在職進修活動 真空工程技術及其應用研討會報名表 單位名稱 姓名 部門/職稱 聯絡電話/手機 e-mail: 午餐 地址： □葷 □素 單位名稱 姓名 部門/職稱 聯絡電話/手機 e-mail: