单片集成cmos电阻真空传感器 a monolithic integrated cmos thermal vacuum sensor.pdfVIP

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2017-08-13 发布于上海
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单片集成cmos电阻真空传感器 a monolithic integrated cmos thermal vacuum sensor.pdf

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报 v01．29 第29卷第6期半导体学 No．6 2008年6月 JOURNAL0FSEMICoNDUCToRS June，2008 AMonolithic CMOSThermal Integrated VacuumSensor’ YuJun2 ． ZhangFengtianl，2”，TangZhen’all2，WangJiaqi2，and (1Institute ofElectronic AcademyofEngineering 621900，China) Engineering，China Physics，Mianyang (2 116024，China) DepartmentofElectronicEngineering，DalianUniversity ofTechnology，Dalian Abstract：Themonolithic micro$en$orisan directioninthefieldsof circuitsandmicro integrated important integrated sensors．Inthis monolithicthermalvacuumSensorbasedona under paper，a constant micro-hotplate(MHP)andoperating bias conditionswas newmonolithic modewas whichthedielectricand voltage designed．A integratingproposed，in passiva— tion instandardCMoS wereusedassensorstructure asthesacrificial the layers processes layers，gatepolysilicon layer，and second asthesensor resistor．Then，the were andthe polysiliconlayer heating fabricatingprocessesdesigned monolithic thermalvacuumsensorwasfabricatedwitha mixed CMOS followedsacrificial tech． 0．6圳n signal process by layeretching measurementresultsshowthatthefabricatedmonolithicvacuumsensorcanmeasurethe 2～ nology．The