碳化硅陶瓷的磨削去除方式及质量控制.pdfVIP

２０１６年第５０卷Ｎｏ．１１ ５１ 碳化硅陶瓷的磨削去除方式及质量控制 高超，吴国荣，王生 江苏科技大学 摘要：碳化硅陶瓷是典型的难加工材料，其硬度高，断裂韧性低。采用烧结金刚石钻头加工碳化硅陶瓷，通过 理论计算及试验观察的方式，表明在磨削过程中碳化硅陶瓷材料主要以脆性断裂的方式去除，同时伴随有塑性变 形的特征。分析了预紧力对孔加工质量的影响，结果表明，预紧力有助于改善孔加工质量，其在１５２００－１６８００Ｎ范 围内时，孔加工质量较好，最优预紧力为１６０００Ｎ。 关键词：碳化硅陶瓷；烧结金刚石钻头；脆性断裂；预紧力；孔加工质量 中图分类号：ＴＧ７０４；ＴＨ１６２　　　　　　文献标志码：Ａ ＧｒｉｎｄｉｎｇＲｅｍｏｖａｌＭｅｔｈｏｄｓａｎｄＱｕａｌｉｔｙＣｏｎｔｒｏｌｏｆＳｉＣＣｅｒａｍｉｃ ＧａｏＣｈａｏ，ＷｕＧｕｏｒｏｎｇ，ＷａｎｇＳｈｅｎｇ Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｂｅｉｎｇｈａｖｅｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｓｏｆｈｉｇｈｈａｒｄｎｅｓｓａｎｄｌｏｗｆｒａｃｔｕｒｅｔｏｕｇｈｎｅｓｓ，ＳｉＣｃｅｒａｍｉｃｉｓａｔｙｐｉｃａｌｄｉｆｆｉｃｕｌｔｔｏ ｍａｃｈｉｎｅｍａｔｅｒｉａｌ．ＳｉｎｔｅｒｉｎｇｄｉａｍｏｎｄｂｉｔｗａｓｕｓｅｄｔｏｄｒｉｌｌＳｉＣｃｅｒａｍｉｃ，ｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓｈｏｗｓｔｈａｔｏｆｂｒｉｔｔｌｅｆｒａｃｔｕｒｅｉｓｔｈｅｄｏｍｉ ｎａｎｔｒｅｍｏｖａｌｗａｙｆｏｒＳｉＣｃｅｒａｍｉｃａｎｄｐｌａｓｔｉｃｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎａｌｗａｙｓｅｘｉｓｔｓｉｎｔｈｅｄｒｉｌｌｉｎｇｐｒｏｃｅｓｓｔｈｒｏｕｇｈｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌｃａｌｃｕｌａｔｉｏｎ ａｎｄｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｏｂｓｅｒｖａｔｉｏｎ．Ｔｈｅｅｆｆｅｃｔｏｆｐｒｅｔｉｇｈｔｅｎｉｎｇｆｏｒｃｅｏｎｔｈｅｑｕａｌｉｔｙｏｆｈｏｌｅｍａｃｈｉｎｉｎｇｗａｓａｎａｌｙｚｅｄ，ｔｈｅｒｅｓｕｌｔ ｓｈｏｗｓｔｈａｔｐｒｅｔｉｇｈｔｅｎｉｎｇｆｏｒｃｅｃａｎｈｅｌｐｔｏｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅｑｕａｌｉｔｙｏｆｈｏｌｅｍａｃｈｉｎｉｎｇ，ｔｈｅｑｕａｌｉｔｙｏｆｈｏｌｅｍａｃｈｉｎｉｎｇｉｓｂｅｔｔｅｒ ｗｈｅｎｐｒｅ－ｔｉｇｈｔｅｎｉｎｇｆｏｒｃｅｉｎｔｎｅｒａｎｇｅｏｆ１５２００１６８００Ｎａｎｄｔｈｅｏｐｔｉｍａｌｐｒｅｔｉｇｈｔｅｎｉｎｇｆｏｒｃｅｉｓ１６０００Ｎ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ＳｉＣｃｅｒａｍｉｃ；ｓｉｎｔｅｒｉｎｇｄｉａｍｏｎｄｂｉｔ；ｂｒｉｔｔｌｅｆｒａｃｔｕｒｅ；ｐｒｅｔｉｇｈｔｅｎｉｎｇｆｏｒｃｅ；ｑｕａｌｉｔｙｏｆｈｏｌｅｍａｃｈｉｎｉｎｇ 石磨粒包裹于结合剂中，从而实现对工件材料的磨 　引言 削；过渡层由结合剂粉末组成，不包含金刚石，牢固 碳化硅陶瓷具有硬度高、强度高和耐高温等优 连接基体与工作层；基体由４５＃钢经机械加工而制 异性能，被广泛运用于化工、矿业、航空航天、汽车和 成，起支撑工作层的作用，同时便于装卡工具。烧结 微电子等工业领域［１－３］。在加工过程中，陶瓷材料 金刚石钻头工作层高度为６ｍｍ，外径为２０ｍｍ，内径 常需要进行钻孔和开槽等工序，而碳化硅陶瓷具有 为１６ｍｍ，水口数为２个，金刚石粒度为５０／６０（直径 较高的硬度及较低的断裂韧性，是典型的难加工材 为 ３ ２５０ｍ），金刚石磨粒的浓度为５０％（０．４４ｇ／ｃｍ， μ 料。对于碳化硅陶瓷的加工，国内外研究主要涉及 ４００％