- 1、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
晶体硅光伏电池烧结工艺和调节
本文由wujinfeng05贡献
pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT,或下载源文件到本机查看。
维普资讯
主田 宦
S 翻
BC I T E ̄ 6
. r 7
高 鹏 刘 继伟 高文 秀
O 引 言
丝网E  ̄ / D U快速烧 结工艺是当 今工业化 大规模 生产晶 体畦太 阳电池 普遍应 用的 成熟的 金属 化技
术。
燃烧 有机物 阶段 的烧 结温度 一般设置在 30 c 0 q 左 右。 如果温度设置过高 , 则浆料中的有机 物挥发速 度过快 , 会造成金属颗粒之间疏松孔隙过多过大 , 使 烧 结后金属层 内部 以及金属一 半导体接触 之间的 电
快速烧结 工艺是将E B 在电池片 的正面 电极 , DU 背面电极以及背面场集中在一起通过快速烧结炉烧
阻过大; 如果温度设置过低 , 会导致有 机物燃烧不完
全, 也会带来 同样的问题。 升温过程需要考虑的主要是对铝背面场和背面电 极的烧结要有足够的温度和足够的时间。图 2 所示为
结完成其表面电接触。其工艺的基本设备 为温度 精
确控制的快速烧 结炉 ( 温度上升速度> 0 / ) 2  ̄ s ,快 C
速烧结理 论在许多文 献中有较详尽 的描述 。但是 , 工艺简单 。生产成本低 、便于 大规模 生产 的丝网印 II I 烧结 工艺 。所形成 的金属 一 U 半导体 接触 电阻 值 却 是光刻 镀膜形 成电极接 触电阻的两个数量级。本 文通过调 节烧 结工艺 实验 ,使铝背面场、背面电极 和正面电极厚膜欧姆接触的导电特性得以优化。 1 烧结工艺过程
图1 是标准烧结工艺曲线图。 图中知道 , 从 快速 烧结工艺一般包含四个阶段即 :. 1 燃烧有 机物阶段 ; 2 升温阶段 ;. 值温度区间; . . 3峰 4 降温阶段 。
不同方式的升温过程o一 2 A为迅速升温烧结工艺曲线 图;_ 黑色实线为缓慢升温工艺曲线图。 2B 峰值 温度 区间要注意 的就是峰值 温度的设定 。 峰值温度决定 了烧结过程中银铝合金 、硅铝合金当 中金属原 子的浓度 .峰值温匿对正面银电极和铝背 场以及背 面电极的烧结和电池片串联 电阻 和填充 因 子的 影响都 非常大 。 如果峰值温度设置过高 , 则会 使 正面 电极烧 穿, 使串联电阻和填充因子下降 , 效率 显
著降 低 。
降温阶段要求匀速连续 ,不 能有较 大幅度的温 度梯 度变化 ,但也有在 特殊的峰 值温度后加上一个
退火过程( 如图 2 A 此种烧结工艺据 介绍 对峰值温 -)
度设定过高而造成的过烧结具有很好的改善作用。
p
2 实验过程
2I 实验材料的准备 .
21 选择材料 。实验材料选择电阻率在 O  ̄ f ? .I . . 3l 5 a 尺寸 为 15 m 15 m, 度为 2 0 3 u m, 2m x 2m 厚 7 + 0 m的 太
阳能级直拉 单晶硅片 。
时司 (】 s
21 制绒 。 .2 _ 采用标准碱腐蚀单晶绒面工艺 , 出绒 率
在 9 %以 上 。 5
图 l 标准烧结工艺温度随时间的变化曲线
维普资讯
21 扩散。 .3 . 选择单面扩散工艺 , 扩散后方块电阻为 4  ̄ f; 5 5l少数载流子寿命在 9 1 ̄ 之间。  ̄3 s
21 镀 减反 射涂 层 。采 用等 离子 体增 强化 学气 相 .. 4 沉积氮 化 硅层 工艺 形成 表面 减反 射涂 层 ,其 厚度在
8 r 左右 。 0m i
厂、 、_,
嘲
21 印刷 电极 。 .. 5 采用 标准 丝 网印刷 铝背 面场 , 面 背 银铝 电极 和 正面 印刷 银电极 工 业化 生产 流程 。其 中 正 面 电极 为 4 5条 15m 宽 栅 线 , 7u 2条 1 mm 宽 的 . 8 主线 ; 面场 电阻 率 为 4 6 1-le 背 ~ x0T ?m。 f 21 烧 结 。 实 验 选 用 的 是 F R O 34 2银 浆 ; .. 6 E R 36 F R 38银 铝 浆 ;E R N 5 — 0 E RO 3 9 F R O C 3 12铝 浆 ; 采 用 九温 区快 速烧 结 炉
文档评论(0)